[实用新型]一种真空泵复合传动轴

说明书

本实用新型提供一种真空泵复合传动轴，包括复合转子轴，复合转子轴相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子与复合转子轴为一体结构，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片，每相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，罗茨泵转子与复合转子轴为可拆卸连接；其解决了罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短的技术问题。本实用新型可广泛应用于半导体行业工艺室的真空处理和显示器设备工艺室的真空处理使用的真空泵中。

技术领域

本实用新型涉及一种真空泵，特别是涉及一种真空泵复合传动轴。

背景技术

现代工业的发展对于真空泵的需求越来越高，尤其是随着半导体行业和显示器制作行业的发展，对于工艺室的真空化处理的要求更高。

现有的真空泵大部分体积较大，轴向尺寸长，在抽真空的过程中由于环节较多，导致能耗较高，长期使用达不到节能的要求；有些真空泵采用罗茨转子和螺杆转子复合转子结构，但罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位大多采取键槽的固定形式，无法满足在圆周方向的精准定位，导致真空泵的装配精度不高，长期运转时罗茨转子和螺杆转子之间存在旋转应力，罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短，真空泵复合传动轴作为真空泵的关键部件，真空泵传动轴的定位精度低直接影响泵的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型针对现有的真空泵采用罗茨转子和螺杆转子复合转子结构，但罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位大多采取键槽的固定形式，无法满足在圆周方向的精准定位，导致真空泵的装配精度不高，长期运转时罗茨转子和螺杆转子之间存在旋转应力，罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短，真空泵传动轴作为真空泵的关键部件，真空泵传动轴的定位精度低直接影响泵的使用寿命的技术问题，提供一种真空泵复合传动轴，该真空泵复合传动轴能够保证罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位准确，在装配时能够方便调节罗茨部分在轴向的定位，使其能够适应螺杆转子的啮合，这样在工作时，罗茨转子和螺杆转子不存在应力干扰，整体的真空泵的罗茨转子和螺杆转子运转平稳，这样就提高了真空泵的运转可靠性，大大提高了真空泵的寿命。

为此，本实用新型的技术方案是，一种真空泵复合传动轴，包括复合转子轴，复合转子轴相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子与复合转子轴为一体结构，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片，每相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，罗茨泵转子与复合转子轴为可拆卸连接。

优选地，罗茨泵转子的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部，罗茨泵转子套设在复合转子轴上，复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有外锥锁紧套和内锥锁紧套，外锥锁紧套的内锥表面和内锥锁紧套的外锥表面相配合，外锥锁紧套的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部压紧接触，罗茨泵转子的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套，罗茨泵转子锁紧内套的前端设有内套压紧部，内套压紧部与内锥锁紧套的外端面压紧接触，罗茨泵转子锁紧内套与罗茨泵转子之间设有锁紧间隙。

优选地，复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有的外锥锁紧套和内锥锁紧套为三对。

优选地，罗茨泵转子内圈定位压紧环形部与复合转子轴外表面的接触部分的长度超过复合转子轴长度的1/3。

优选地，相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有的罗茨泵转子啮合曲面为斜型曲面啮合。