[实用新型]一种单晶炉用中轴护盘有效
申请号: | 202121149668.4 | 申请日: | 2021-05-26 |
公开(公告)号: | CN214694458U | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 郑伟扬;王思锋;周宇;李莎;焦岳卫 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 徐芝强;肖明芳 |
地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用 中轴 | ||
1.一种单晶炉用中轴护盘,其特征在于,其为一底部开口的盘状结构,包括环形的护盘侧壁(11)、顶部用于承托石墨锅底(20)的护盘顶座(12);该中轴护盘通过底部的开口扣合在中轴盘(30)上,护盘侧壁(11)包合于中轴盘(30)外壁上;所述护盘顶座(12)的中心处,设有与上部石墨锅底(20)适配的安装沉孔(13);所述的护盘侧壁(11)的底部向外延伸,形成环形导流盘(14)。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用中轴护盘,其特征在于,所述护盘顶座(12)的底部位于安装沉孔(13)下方设有向护盘内部凸出的固定凸台(15),所述固定凸台(15)与下方的中轴盘(30)顶部设置的对应沉孔卡合固定。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用中轴护盘,其特征在于,所述安装沉孔(13)的底部,固定凸台(15)背面形成的凹陷采用颗粒状石英砂(16)进行填充。
4.根据权利要求1所述的单晶炉用中轴护盘,其特征在于,所述护盘顶座(12)位于中心安装沉孔(13)的外围,嵌有一圈环形的石墨保温毡(17)。
5.根据权利要求1所述的单晶炉用中轴护盘,其特征在于,所述的环形导流盘(14)厚度自上而下逐渐增大,且截面为直角梯形。
6.根据权利要求1所述的单晶炉用中轴护盘,所述的护盘侧壁(11)、护盘顶座(12)以及环形导流盘(14)采用碳碳材料一体成型。
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