[实用新型]带定位孔的压力弹性体

说明书

本实用新型公开了一种带定位孔的压力弹性体，其特征在于：包括金属材料制造的圆柱形本体，所述本体下端加工有压力腔；所述本体上端加工有应变体，所述本体外周加工有凸台，所述本体的下端面任一位置加工有方便光刻工艺定位的定位孔。所述应变体的外边缘加工有方便研磨抛光的倒角。将常规的圆形弹性体增加定位孔，设计吻合好有定位孔的弹性体光刻夹具，这样可以一次数十个甚至数百个弹性体进行套刻工艺，实现批量生产，极大地提高生产效率，降低生产成本。由于应变体的外边缘加工有倒角，在进行研磨抛光时，所述应变体不会由于边缘的钝角损坏研磨轮或抛光皮，延长设备使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及一种压力弹性体，尤其涉及一种方便光刻工艺定位的带定位孔的压力弹性体。

背景技术

溅射薄膜压力传感器是一种性能优良的压力传感器，它具有精度高、稳定性好以及测量介质温度高等优点，在航空、航天、军工、核工业、石化、交通、冶金、食品、医药等许多领域得到应用。

但溅射薄膜压力传感器的敏感芯体（敏感芯体是由弹性体经研磨抛光、镀膜、光刻等工艺制造出来的）制造工艺繁杂，且生产效率不高，其中最困难的一个工艺是弹性体的光刻工艺，主要表现在进行光刻工艺时，由于图形需要进行二次光刻，这就存在套刻的问题。常规的弹性体是圆柱体，在进行二次套刻工艺时无法定位，只能一次光刻一只产品，生产效率极低。

因此，开发一种方便光刻工艺定位的带定位孔的压力弹性体极其重要。

在不影响弹性体任何性能的前提下，将常规的圆形弹性体底面增加定位孔，设计吻合好有定位孔的弹性体光刻夹具，这样可以一次数十个甚至数百个弹性体进行套刻工艺，极大地提高生产效率，解决上述存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带定位孔的压力弹性体，针对现有技术的不足，实现压力弹性体二次套刻工艺可以批量进行、生产效率大大提高的目的。

为解决以上技术问题，本实用新型的技术方案是：其特征在于：包括金属材料制造的圆柱形本体，所述本体下端加工有压力腔；所述本体上端加工有应变体，所述本体外周加工有凸台，所述本体的下端面任一位置加工有方便光刻工艺定位的定位孔；所述应变体的外边缘加工有方便研磨抛光的倒角。

与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果为：在不影响弹性体任何性能的前提下，将常规的圆形弹性体增加定位孔，设计吻合好有定位孔的弹性体光刻夹具，这样可以一次数十个甚至数百个弹性体进行套刻工艺，实现批量生产，极大地提高生产效率，降低生产成本，使得具有优良性能的薄膜压力传感器在更多领域得到应用。

附图说明

图1为本实用新型的带定位孔的压力弹性体的剖面示意图。

图中：1、本体，2、压力腔，3、应变体，4、凸台，5、定位孔，6、倒角。

具体实施方式

如图1所示，一种带定位孔的压力弹性体，包括金属材料制造的圆柱形本体1，所述本体1下端加工有压力腔2。所述本体1上端加工有应变体3。当压力作用在压力腔2时，所述应变体3会发生形变，通过镀膜光刻等工艺制造在所述应变体3上的惠斯通电桥（图中未示出）产生与所受压力成比例的电信号。

所述应变体3外周加工有凸台4。所述本体1的下端面任一位置加工有方便光刻工艺定位的定位孔5，所述定位孔5在进行光刻时可以很好地进行定位，将数十个甚至数百个带所述带定位孔5的弹性体放入设计有吻合弹性体定位孔的光刻夹具中，这样就可以进行批量套刻工艺，极大地提高生产效率，降低生产成本。所述应变体3的外边缘加工有方便研磨抛光的倒角6。由于加工有倒角6，在进行研磨抛光时，所述应变体3不会由于边缘的钝角损坏研磨轮或抛光皮，延长设备使用寿命。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施方式，不应被视为对本实用新型范围的限制，而且本实用新型所主张的权利要求范围并不局限于此，凡熟悉此领域技艺的人士，依照本实用新型所披露的技术内容，可轻易思及的等效变化，均应落入本实用新型的保护范围内。