[实用新型]一种光刻胶树脂回收利用装置

说明书

本实用新型属于光刻胶生产设备技术领域，公开了一种光刻胶树脂回收利用装置，包括第一储液装置，第一储液装置的出液口连接有第一过滤装置，第一过滤装置的出液口连接有去脂装置，去脂装置的出液口连接有第二过滤装置，第二过滤装置的出液口连接有金属离子去除装置，金属离子去除装置的出液口连接有第二储液装置；去脂装置包括储液罐，储液罐两侧分别设有进液口和出液口，储液罐内设有吸脂机构和与吸脂机构配合的刮脂机构；本实用新型解决了现有技术中光刻胶剥离液内树脂去除效率低、成本高、去除不彻底的问题。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶生产设备技术领域，具体涉及一种光刻胶树脂回收利用装置。

背景技术

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，其是由溶剂、感光树脂、光引发剂和添加剂四种成分组成的对光敏感的混合液体；在紫外光、深紫外光、电子束、离子束等光照或辐射下，进行光化学反应，经曝光、显影等过程，将所需要的微细图形从掩模版转移至待加工的衬底上，然后进行蚀刻等工艺加工，最终得到所需图像。

其中，感光树脂是惰性的聚合物，用于把光刻胶中的不同材料聚在一起的粘合剂，给予光刻胶其机械和化学性质；在去除光刻胶的过程，主要是使用大量剥离液将剩余光刻胶充分溶解并带走，因此废剥离液中含有溶解和游离态的光刻胶成分，包括光刻胶中的酚醛树脂碎片，感光树脂等，剩余大部分都是有再利用价值的可回用组分。

为了节省资源和成本，需要对光刻胶废液进行回收利用，然而，目前的脱除抗蚀剂剥离液再生工艺中，对溶解的树脂或固体杂质脱除的前处理工艺仍存在效率低下、杂质脱除不彻底等缺陷，尤其是对溶解的树脂的回收过程非常繁琐。因此，寻求一种低成本、效率高、装置稳定性高的光刻胶树脂回收利用装置，是亟需解决的问题

实用新型内容

为解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种低成本、效率高、装置稳定性好的光刻胶树脂回收利用装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：

一种光刻胶树脂回收利用装置，包括第一储液装置，第一储液装置的出液口通过泵连接有第一过滤装置，第一过滤装置的出液口连接有去脂装置，去脂装置的出液口连接有第二过滤装置，第二过滤装置的出液口连接有金属离子去除装置，金属离子去除装置的出液口连接有第二储液装置；去脂装置包括储液罐，储液罐两侧分别设有进液口和出液口，储液罐内设有吸脂机构和与吸脂机构配合的刮脂机构。

进一步地，吸脂机构包括一对竖直设置在储液罐内的吸脂板，任一吸脂板内均设有加热装置，两个吸脂板底端通过一水平设置的连接杆连接；吸脂机构还包括竖直设置在储液罐上的第一升降机构，第一升降机构与连接杆连接。

进一步地，第一升降机构包括竖直设置在储液罐上的气缸，气缸为多级气缸，气缸的气缸杆深入储液罐内部与连接杆连接，气缸杆设置在连接杆中间位置。

进一步地，刮脂机构包括两对竖直设置在吸脂板两侧的刮脂板，设在同一吸脂板两侧的两个刮脂板通过安装架连接，安装架呈矩形的框体结构，安装架设置在刮脂板顶端；任一刮脂板上均转动连接有刮脂槽，刮脂槽至少设有一个，任一刮脂板上均设有驱动刮脂槽在竖直面内旋转的驱动机构。

进一步地，刮脂槽水平设置，刮脂槽为纵截面四分之一圆的柱状机构，刮脂槽靠近吸脂板的一侧的平面设有开口，刮脂槽通过水平贯穿刮脂槽的转轴与刮脂板转动连接，转轴与刮脂槽的圆心同心设置。

进一步地，任一驱动机构均包括沿竖直方向与刮脂板滑动连接的驱动板，位于同一吸脂板两侧的驱动板通过两个连接柱固结，安装架上设有驱动驱动板上下移动的第二升降机构。

进一步地，第二升降机构包括竖直设置在安装架顶端的升降电机，升降电机的动力输出端连接有丝杆，两个驱动板之间的连接柱上均设有与丝杆配合的螺纹孔。