[实用新型]用于三氟化氮精馏塔设备内部的分配锥

说明书

本实用新型属于三氟化氮提纯技术领域，涉及一种用于三氟化氮精馏塔设备内部的分配锥，设置在精馏塔的塔节内，精馏塔的塔节下部设有进料口，精馏塔的塔节顶部设有精馏塔出气口，进料口和精馏塔出气口之间的塔节设有数个分配锥本体，分配锥本体呈椎体状，且分配锥本体的上表面和下表面相互平行，分配锥本体的小口的边缘均匀设有数个小圆弧，数个小圆弧在小口处呈花瓣型，且小口正对分配锥本体的大口。本实用新型使从精馏塔提取的三氟化氮纯度提高，满足工业化应用的要求。

技术领域

本实用新型涉及一种用于三氟化氮精馏塔设备内部的分配锥，属于三氟化氮提纯技术领域。

背景技术

三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，可以对硅和氧化硅蚀刻，且对被蚀刻物表面无污染，在被蚀刻物表面不留任何残留物，可以作为非常好的清洗剂，因此三氟化氮在芯片制造、高能激光器方面得到大量的运用；由于三氟化氮纯度越高蚀刻速率和选择性越优异，随着纳米技术和电子工业大规模的发展，对三氟化氮的需求量和纯度要求日益增加，所以需要提高三氟化氮纯度，达到工业化应用；三氟化氮提纯过程中，在精馏塔中的三氟化氮原料分布均匀是提高三氟化氮纯度的重要环节。现有技术中，三氟化氮精馏塔设备内部的分配锥是采用钢板直接做成椎体，这种分配锥使在精馏塔中的三氟化氮分布不均匀，使提取的三氟化氮纯度低，产品质量不好，不能达到工业化应用的要求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提出一种用于三氟化氮精馏塔设备内部的分配锥，使从精馏塔提取的三氟化氮纯度提高，产品质量好，满足工业化应用的要求。

本实用新型所述用于三氟化氮精馏塔设备内部的分配锥口，设置在精馏塔的塔节内，精馏塔的塔节下部设有进料口，精馏塔的塔节顶部设有精馏塔出气口，进料口和精馏塔出气口之间的塔节设有数个分配锥本体，分配锥本体呈椎体状，且分配锥本体上表面和下表面相互平行，分配锥本体的小口的边缘均匀设有数个小圆弧，数个小圆弧在小口处呈花瓣型，且小口正对分配锥本体的大口。

塔节内还设有规整填料一，规整填料二和规则填料三，可以进一步使三氟化氮在精馏塔的塔节中流动分布的更加均匀；分配锥本体的数量为两个，其中一个分配锥本体设置进料口和规整填料二之间，另一个设置规整填料一和规整填料二之间，规整填料三设置进料口下方的精馏塔的塔节内。分配锥本体大口向上设置在精馏塔的塔节内。

使用时，将含有杂质的三氟化氮原料气体从进料口注入精馏塔的塔节内，含有杂质的三氟化氮原料气体进入精馏塔的塔节内流动上升，经过分配锥本体、规整填料一和规整填料二，含有杂质的三氟化氮原料气体在上升过程中，进行气液分离，低沸点、易挥发的含有杂质的三氟化氮气体从精馏塔出气口进入外接处理装置，去除杂质的三氟化氮液体经过规整填料一、分配锥本体、规整填料二和规整填料三向下集中，最终去除杂质的三氟化氮液体由精馏塔的出料口排出进入下一工序。分配锥的小口呈花瓣型结构，使含有杂质的三氟化氮原料气体在上升过程中以及去除杂质的三氟化氮液体在下降过程中得到充分分配均匀，增加了三氟化氮的提纯效果，提高了产品质量。

优选的，所述的分配锥本体可制作成圆台状。

优选的，所述的小圆弧数量为8个。

优选的，所述的分配锥本体的材质采用钢板。

本实用新型与现有技术相比所具有的有益效果是：

本实用新型结构设计简单合理，加工成本低，分配锥的小口呈花瓣型结构，使含有杂质的三氟化氮原料气体在上升过程中以及去除杂质的三氟化氮液体在下降过程中得到充分分配均匀，增加了三氟化氮的提纯效果，提高了产品质量，满足工业化应用的要求。

附图说明

图1、用于三氟化氮精馏塔设备内部的分配锥正视图；

图2、用于三氟化氮精馏塔设备内部的分配锥俯视图；

图3、用于三氟化氮精馏塔设备内部的分配锥使用状态图。