[实用新型]一种方便调整多线切割的冷却装置

说明书

一种方便调整多线切割的冷却装置，包括相对设置的冷却装置，所述冷却装置包括活动导流板(2)、支撑杆(3)，活动导流板(2)的一端安装在支撑杆(3)上、另一端将冷却水引流至加工件(9)的切割面处，支撑杆(3)的一端安装有可转动的滚动件(7)、另一端通过伸缩装置可移动地安装在冷却管(10)上；伸缩装置包括安装在支撑杆(3)上固定板(6)，固定板(6)和冷却管(10)之间安装有弹性件(4)及导向杆(5)，固定板(6)可移动地安装在导向杆(5)上；本实用新型一种方便调整多线切割的冷却装置中，活动导流板在伸缩装置的带动下可随着加工件尺寸变化而移动，从而在切割过程中实现持续有效的冷却。

技术领域

本实用新型涉及金刚线多线切割半导体晶圆工艺的技术领域，具体涉及一种方便调整多线切割的冷却装置。

背景技术

半导体晶圆硅片切割用金刚线多线切割机切割是从太阳能金刚线切割机演变过来的。请参阅图1，太阳能光伏硅片为保证后道电池片有效受光面积，全部都是做的小倒角的方片，在金刚线切割时，冷却水的位置一般是固定在最佳的冷却位置，但是切割半导体晶圆时，固定冷却水的位置的方法却达不到最佳的冷却效果，从而在进刀位置和出刀位置易冷却不均，从而导致切割后的硅片厚薄不均或单片TTV过大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种在金刚线切割过程中冷却水位置随硅棒直径大小而自动变化的多线切割的冷却装置。

本实用新型的目的是采用以下技术方案来实现。依据本实用新型提出的一种方便调整多线切割的冷却装置，其特征在于：包括相对设置的冷却装置，所述冷却装置包括活动导流板2、支撑杆3，活动导流板2的一端安装在支撑杆3上、另一端将冷却水引流至加工件9的切割面处，支撑杆3的一端安装有可转动的滚动件7、另一端通过伸缩装置可移动地安装在冷却管10上；伸缩装置包括安装在支撑杆3上的固定板6，固定板6和冷却管10之间安装有弹性件4及导向杆5，固定板6可移动地安装在导向杆5上。

优选的，滚动件7选用滚珠轴承。

优选的，支撑杆3的数量至少为一个，支撑杆3至少通过一个伸缩装置安装在冷却管10上。

优选的，弹性件4为弹簧。

优选的，固定板6为法兰盘。

本实用新型提出的一种方便调整多线切割的冷却装置具有如下优点：

1、本实用新型一种方便调整多线切割的冷却装置中，活动导流板在伸缩装置的带动下可随着加工件尺寸变化而移动，从而在切割过程中实现持续有效的冷却。

2、本实用新型一种方便调整多线切割的冷却装置，可保证切割过程中冷却条件的统一及稳定性，使冷却条件变化最小，从而可消除硅片因冷却不足造成的硅片厚度不均及TTV过大的现象。

以上说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能更清楚了解本实用新型的技术手段，可依照说明书的内容予以实施，并且为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是现有的冷却装置的结构示意图。

图2是本实施例一种方便调整多线切割的冷却装置的结构示意图。

【附图标记】

1-固定导流板，2-活动导流板、3-支撑杆，4-弹性件，5-导向杆，6-固定板，7-滚动件，8-金刚线，9-加工件，10-冷却管，101-盖板，102-出水口,11-进水管。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定目的所采用的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实例，对依据本实用新型提出的一种方便调整多线切割的冷却装置具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。