[实用新型]光栅结构有效

专利信息
申请号: 202121109461.4 申请日: 2021-05-21
公开(公告)号: CN214669693U 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 尹正坤;孙理斌;汪杰;陈远 申请(专利权)人: 宁波舜宇奥来技术有限公司
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 刘娜
地址: 315455 浙江省宁*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 光栅 结构
【权利要求书】:

1.一种光栅结构,其特征在于,包括:

基底结构(10);

光栅层(20),所述光栅层(20)为单层,所述光栅层(20)为周期结构,每个光栅周期作为一个子光栅,所述子光栅具有两个占空比不同的光栅脊(21),所述光栅脊(21)为矩形结构。

2.根据权利要求1所述的光栅结构,其特征在于,所述光栅层(20)的周期小于1.5倍的入射波长。

3.根据权利要求1所述的光栅结构,其特征在于,光在垂直于所述基底结构(10)的方向入射时,经所述光栅结构衍射后产生的透射-1级T-1和透射+1级T+1,所述透射-1级T-1与所述透射+1级T+1的偏振状态垂直。

4.根据权利要求1所述的光栅结构,其特征在于,所述子光栅为非对称结构。

5.根据权利要求3所述的光栅结构,其特征在于,

所述透射-1级T-1的偏振状态为TE偏振,所述透射+1级T+1的偏振状态为TM偏振;或者

所述透射-1级T-1的偏振状态为TM偏振,所述透射+1级T+1的偏振状态为TE偏振。

6.根据权利要求1所述的光栅结构,其特征在于,所述光栅脊(21)的宽度在远离所述基底结构(10)的方向上保持一致。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的光栅结构,其特征在于,

所述光栅脊(21)的折射率大于等于1.45且小于等于4.8;和/或

所述光栅脊(21)的高度大于等于10nm且小于等于2um。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的光栅结构,其特征在于,所述基底结构(10)的折射率大于等于1.4且小于等于2.9。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的光栅结构,其特征在于,所述基底结构(10)的材料为二氧化硅、掺杂二氧化硅、硼磷酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃、钠钙玻璃、氮化硅、氮氧化硅、二氧化钛、二氧化铈、氧化铝、五氧化二钽、聚合物中的一种。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的光栅结构,其特征在于,所述光栅结构还包括截止层,所述截止层设置在所述基底结构(10)与所述光栅层(20)之间。

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