[实用新型]拼接式载板框架结构、载具及化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种拼接式载板框架结构，用于化学气相沉积设备承载工件，其特征在于，包括：

平行并间隔设置的两个边框筋；

多个横筋，相互间隔地连接在两个所述边框筋之间且垂直于所述边框筋；

至少一个竖筋，位于两个所述边框筋之间且平行于所述边框筋，且任一所述竖筋的两端均连接在相邻两个所述横筋之间；

其中，多个所述横筋、至少一个所述竖筋、两个所述边框筋均位于同一个平面上。

2.根据权利要求1所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，

所述边框筋、所述横筋和所述竖筋均由殷钢或铝或不锈钢制成。

3.根据权利要求1所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，所述边框筋、所述横筋或所述竖筋中的至少一个为拼接筋，所述拼接筋包括沿同一方向依次连接的至少两个拼接件，任意相邻的两个所述拼接件通过连接组件连接，所述连接组件包括：

两个销钉和一个固定螺栓，相互连接的两个所述拼接件通过两个所述销钉进行长度方向上的定位，且相互连接的两个所述拼接件的连接端部上均设置有容纳所述销钉的定位槽；

相互连接的两个所述拼接件的待连接端上分别设置有与所述固定螺栓适配的螺栓安装孔，相互连接的两个所述拼接件中的一个上设置有与对应螺栓安装孔连通的操作槽，所述固定螺栓能够由所述操作槽处进行安装。

4.根据权利要求3所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，

所述边框筋包括沿同一方向依次连接的至少两个边框拼接件，任意相邻的两个所述边框拼接件通过边框连接件连接，所述边框连接件包括：

从上至下依次设置的第一边框销钉、边框固定螺栓、第二边框销钉，所述第一边框销钉、所述边框固定螺栓、所述第二边框销钉分别与相邻的两个边框拼接件相连；和/或

所述横筋包括沿同一方向依次连接的至少两个横筋拼接件，任意相邻的两个所述横筋拼接件通过横筋连接件连接，所述横筋连接件包括：

从上至下依次设置的第一横筋销钉、第二横筋销钉、横筋固定螺栓，所述第一横筋销钉、所述第二横筋销钉、所述横筋固定螺栓分别与相邻的两个横筋拼接件相连；和/或

所述竖筋包括沿同一方向通过竖筋连接件依次相连的至少两个竖筋拼接件，所述竖筋连接件包括：

从上至下依次设置的第一竖筋销钉、竖筋固定螺栓、第二竖筋销钉，所述第一竖筋销钉、所述竖筋固定螺栓、所述第二竖筋销钉分别与相邻的两个竖筋拼接件相连。

5.根据权利要求1所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，

所述拼接式载板框架结构还包括位于所述边框筋底部的多个导条，每一所述导条包括通过导条连接件依次相连的至少两个导条拼接件，相邻的两个所述导条拼接件在连接处预留有膨胀间隙。

6.根据权利要求5所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，

所述导条包括至少一个导条销钉，各个所述导条销钉分别与相邻的两个导条拼接件相连，相邻两个所述导条拼接件通过E形连接部与反E形连接部对接。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的拼接式载板框架结构，其特征在于，

所述横筋的数量为三个，所述竖筋的数量为两个，三个所述横筋、两个所述竖筋和两个所述边框筋形成“田”字形；和/或

所述边框筋垂直于工件的输送方向且所述横筋平行于工件的输送方向。

8.一种载具，其特征在于，包括：

如权利要求1至7中任一项所述的拼接式载板框架结构；

载板，呈网格状，置于所述拼接式载板框架结构上，用于承载工件。

9.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括：

传输装置；和

如权利要求8所述的载具，所述载具安装在所述传输装置上，所述传输装置用于通过所述载具输送工件。

10.根据权利要求9所述的化学气相沉积设备，其特征在于，

所述拼接式载板框架结构还包括位于边框筋底部的多个导条；

所述传输装置包括与所述多个导条适配的导轨，所述多个导条限位安装于所述导轨内。