[实用新型]一种气浮台

说明书

本实用新型提供了一种气浮台，属于工作台领域，包括至少能在单轴方向进行移动的单轴气浮台，其中单轴气浮台包括单轴底座和单轴滑座，单轴底座上表面两侧分别设有单轴左导轨和单轴右导轨，单轴左导轨和单轴右导轨之间形成单轴导槽，单轴滑座与单轴导槽之间形成配合，单轴导槽底部和两侧壁均设有若干气孔，气孔通气单轴滑座底面与单轴导槽底面之间形成气浮面，单轴滑座两侧与单轴导槽两侧壁之间也形成气浮面。本实用新型所述的气浮台通过简单的结构，较少的零部件，实现三轴上的运动，提高关键部位的零部件装配精度。

技术领域

本实用新型属于工作台领域，尤其是涉及一种气浮台。

背景技术

气浮台是一种精密控制装备，其通过气浮层承载，实现高负荷，超稳定，无摩擦的相对运动，大部分的气浮台结构复杂，功能单一，制作成本高，多零件也导致在测量精度上存在偏差。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种气浮台，通过简单的结构，较少的零部件，实现三轴上的运动，提高关键部位的零部件装配精度。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种气浮台，包括至少能在单轴方向进行移动的单轴气浮台，其中单轴气浮台包括单轴底座和单轴滑座，单轴底座上表面两侧分别设有单轴左导轨和单轴右导轨，单轴左导轨和单轴右导轨之间形成单轴导槽，单轴滑座与单轴导槽之间形成配合，单轴导槽底部和两侧壁均设有若干气孔，气孔通气单轴滑座底面与单轴导槽底面之间形成气浮面，单轴滑座两侧与单轴导槽两侧壁之间也形成气浮面。

进一步的，单轴底座包括单轴一号底座、单轴二号底座，单轴滑座包括单轴一号滑座、单轴二号滑座，单轴一号底座与单轴一号滑座配合，单轴二号底座和单轴二号滑座配合，单轴一号底座整体呈凹字形，且顶部设有单轴一号左导轨和单轴一号右导轨形成的单轴一号导槽；单轴一号导槽底部和两侧壁均设有若干气孔，单轴一号滑座与单轴一号导槽底部和两侧壁之间形成单轴一号气浮面，实现单轴一号滑座在单轴一号导槽内的滑动；

单轴二号底座整体也呈凹字形，且顶部设有单轴二号左导轨和单轴二号右导轨形成的单轴二号导槽，单轴二号导槽底部和两侧壁均设有若干气孔，

单轴二号滑座的横截面呈T字型，单轴二号滑座包括竖直部分和水平部分，竖直部分与单轴二号导槽底部和两侧壁之间形成单轴二号气浮面，实现单轴二号滑座在单轴二号导槽内的滑动。

进一步的，单轴一号导槽的长度与宽度之比为1.25:1；单轴一号导槽的深度与宽度之比为1:6；单轴一号导槽的宽度与单轴一号底座的宽度之比为1:1.25；单轴一号导槽的深度与单轴一号底座的高度之比为1:3；

单轴二号滑座的竖直部分长度与水平部分长度之比为1:3；单轴二号导槽的宽度与长度之比为1:3；单轴二号导槽的深度与宽度之比为1:2.5；单轴二号导槽的宽度与单轴二号底座的宽度之比为1:3；单轴二号导槽的深度与单轴二号底座的高度之比为1:2.5。

进一步的，单轴气浮台的单轴滑座上设有双轴滑座，双轴滑座卡接至单轴滑座形成双轴气浮台，单轴滑座上表面及两侧设有若干气孔，气孔通气，双轴滑座与单轴滑座的上表面及两侧壁之间形成双轴气浮面，实现双轴滑座相对单轴滑座滑动。

进一步的，双轴滑座包括双轴一号滑座和双轴二号滑座，其中双轴一号滑座整体呈U字型，双轴一号滑座底部设有与单轴滑座相配合的双轴一号滑槽，双轴一号滑槽的长度与宽度之比为1:1，双轴一号滑槽的厚度与宽度之比为1:4，双轴一号滑座的长度与双轴一号滑槽的长度之比为1.3:1；双轴一号滑座的厚度与双轴一号滑座的长度之比为1:3；

双轴二号滑座底部设有双轴二号底槽，顶部设有双轴二号顶槽，双轴二号底槽的长度与宽度之比为1:1，双轴二号底槽的厚度与宽度之比为1:4，双轴二号滑座的长度与宽度之比为1.25:1；双轴二号滑座的长度与厚度之比为1.5:1；双轴二号顶槽的长度与宽度之比为1.3:1；双轴二号导槽的长度与双轴二号滑座的长度之比为1:1.25。