[实用新型]一种带有推手装置的反应室

权利要求书

1.一种带有推手装置的反应室，其特征在于：所述反应室(1)的一侧上设置有一与其相连通的置换室(2)，所述置换室(2)的两侧上分别对称设置有一号舱门(21)、二号舱门(22)，还包括一推手装置，所述推手装置包括轨道(31)、气缸推手(32)和重锤块(33)以及限位板(36)，所述轨道(31)横向的贯通反应室(1)和置换室(2)，所述轨道(31)上设置有能够沿其长度方向进行左右移动的支撑框架(34)，所述气缸推手(32)与支撑框架(34)相连接，所述重锤块(33)与支撑框架(34)之间通过转动轴(35)转动连接，并且该重锤块(33)的重心位于转动轴(35)的后方，所述限位板(36)设置在支撑框架(34)的前侧底部上；还包括能够将产品推入至置换室(2)内的推入气缸(4)。

2.根据权利要求1所述的一种带有推手装置的反应室，其特征在于：所述重锤块(33)包括工作部(331)、配重部(332)，所述工作部(331)具有推面(331a)和后斜面(331b)，所述配重部(332)具有定位面(332a)。

3.根据权利要求1所述的一种带有推手装置的反应室，其特征在于：所述二号舱门(22)设置在置换室(2)与反应室(1)的连接处之间，所述一号舱门(21)设置在置换室(2)靠近推入气缸(4)的一侧上。

4.根据权利要求1所述的一种带有推手装置的反应室，其特征在于：所述置换室(2)上设置有惰性气体进气口和抽真空口。

5.根据权利要求2所述的一种带有推手装置的反应室，其特征在于：所述一号舱门(21)和二号舱门(22)均设置有一光电传感器。

6.根据权利要求1所述的一种带有推手装置的反应室，其特征在于：所述支撑框架(34)上设置有能够沿所述轨道(31)进行左右移动的滑块。

7.根据权利要求1所述的一种带有推手装置的反应室，其特征在于：所述重锤块(33)的数量为2个，且分别对称设置在支撑框架(34)的前后两侧上。

8.根据权利要求1所述的一种带有推手装置的反应室，其特征在于：所述气缸推手(32)的缸体固定连接在反应室(1)的内腔底部，该气缸推手(32)的伸缩杆通过螺栓锁紧在支撑框架(34)的尾部上。

9.根据权利要求1所述的一种带有推手装置的反应室，其特征在于：还包括用于放置产品的产品存放盘(5)。