[实用新型]一种喷淋线辅助轮升降机构及直立式喷淋蚀刻机

权利要求书

1.一种喷淋线辅助轮升降机构，其特征在于，包括：

机架(1)；

转轴(3)，至少两个所述转轴(3)转动设于所述机架(1)，所述转轴(3)的一端设有螺杆；

滚轮组件，包括转动连接的滚轮(22)和支撑架(21)，所述滚轮(22)用于传递玻璃(100)；

螺套(4)，与所述螺杆一一对应的所述螺套(4)设于所述支撑架(21)；所述螺套(4)与所述螺杆螺接；

所述转轴(3)正向转动时所述滚轮组件上升，所述转轴(3)反向转动时所述滚轮组件下降。

2.根据权利要求1所述的喷淋线辅助轮升降机构，其特征在于，所述滚轮组件中的滚轮(22)设有多个，多个所述滚轮(22)间隔设置于所述支撑架(21)。

3.根据权利要求1所述的喷淋线辅助轮升降机构，其特征在于，所述喷淋线辅助轮升降机构还包括动力件(5)，所述动力件(5)能驱动所述转轴(3)正向转动和反向转动。

4.根据权利要求3所述的喷淋线辅助轮升降机构，其特征在于，所述喷淋线辅助轮升降机构还包括第一齿轮(81)、第二齿轮(82)和连接轴(6)，所述动力件(5)的输出端与所述连接轴(6)连接，所述第一齿轮(81)与所述转轴(3)连接，所述第二齿轮(82)与所述连接轴(6)连接，所述第一齿轮(81)和所述第二齿轮(82)啮合。

5.根据权利要求1所述的喷淋线辅助轮升降机构，其特征在于，所述喷淋线辅助轮升降机构还包括转盘，所述转轴(3)固接于所述转盘的中心位置，拨动所述转盘能够驱动所述转轴(3)。

6.根据权利要求1所述的喷淋线辅助轮升降机构，其特征在于，所述喷淋线辅助轮升降机构还包括标尺组件，所述标尺组件用于指示所述支撑架(21)升降的尺寸。

7.根据权利要求6所述的喷淋线辅助轮升降机构，其特征在于，所述标尺组件包括刻度尺(71)和指针(72)，所述刻度尺(71)固定于所述机架(1)，所述指针(72)设于所述螺套(4)，所述指针(72)指向所述刻度尺(71)。

8.根据权利要求1-7任一项所述的喷淋线辅助轮升降机构，其特征在于，所述螺套(4)与所述支撑架(21)之间为可拆卸连接。

9.根据权利要求8所述的喷淋线辅助轮升降机构，其特征在于，所述螺套(4)与所述支撑架(21)之间的可拆卸连接为螺接。

10.一种直立式喷淋蚀刻机，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的喷淋线辅助轮升降机构。