[实用新型]一种石英坩埚表面自动清洗除砂装置有效

专利信息
申请号: 202121016443.1 申请日: 2021-05-13
公开(公告)号: CN215143094U 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 闫淑卿;龙从国;马珊珊;师丽捧 申请(专利权)人: 闫淑卿
主分类号: B08B9/28 分类号: B08B9/28;B08B13/00
代理公司: 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 代理人: 田江飞
地址: 450046 *** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 坩埚 表面 自动 清洗 除砂 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种石英坩埚表面自动清洗除砂装置。其技术要点是:包括工作台,工作台上贯穿设有传动轴,且两者之间转动连接,传动轴靠近地面一侧设有驱动组件,传动轴远离地面一端插设有安装板,且两者之间固定连接,安装板远离地面一侧固定连接有托板,托板远离地面一侧设有夹持组件,夹持组件包括若干凸轮,若干凸轮均贯穿且固定连接有第一连接轴,第一连接轴贯穿且转动连接于托板,托板内部开设有空腔,第一连接轴靠近安装板一侧设有同步传动组件,同步传动组件置于空腔内部。本实用新型具有的优点:整体清洗除砂装置利用了凸轮的竖直侧壁距离转动位置不同的特点,通过转动凸轮,可以实现对不同尺寸的坩埚进行卡接,具有较强的实用性。

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚制作技术领域,具体为一种石英坩埚表面自动清洗除砂装置。

背景技术

单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势,制作单晶硅棒所使用的石英坩埚的需求量也快速增加。石英坩埚外表面的质量,是否光滑、洁净直接关系到石英坩埚的熔炼产品质量和石英坩埚本身的使用寿命。现在制作石英坩埚时所使用的石英坩埚外表面整形机床系统包括电机、底托、托板、石英坩埚和金刚砂轮,电机带动底托、托板和石英坩埚转动,同时人工操作金刚砂轮,使金刚砂轮在石英坩埚外侧移动,石英坩埚外侧与金刚砂轮工作面发生摩擦,产生整形加工过程。

上述的现有技术方案存在以下缺陷:现有在石英坩埚在进行清洗除砂过程中多利用凸台在坩埚内部进行卡接,此种固定方式只能针对固定尺寸的坩埚进行使用,不便于不同尺寸的坩埚进行固定。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种石英坩埚表面自动清洗除砂装置,其具有的优点:设置的工作台可以为清洗除砂相关组件提供安装位置,设置的传动轴能够起到连接传动作用,设置的驱动组件能够为传动轴提供驱动力,带动传动轴旋转,便于清洗除砂操作的进行,设置的安装板能够为托板提供安装位置,设置的托板能够便于放置坩埚,设置的夹持组件能够对坩埚进行限位锁定,提升坩埚在旋转以及进行清洗除砂操作过程中的稳定性,设置的同步传动组件能够控制设置的若干凸轮同时转动,能够利用凸轮的侧壁挤压至坩埚的内侧壁,对坩埚起到限位作用,通过坩埚内部进行限位,不会对坩埚外侧壁的清洗除砂操作造成影响,同时,设置的凸轮可以在一定范围内根据不同的坩埚尺寸进行挤压卡接,可以应用于不同齿轮的坩埚,提升了清洗除砂装置的适用性;整体清洗除砂装置利用了凸轮的竖直侧壁距离转动位置不同的特点,通过转动凸轮,可以实现对不同尺寸的坩埚进行卡接,具有较强的实用性。

本实用新型的上述目的是通过以下技术方案得以实现的:

一种石英坩埚表面自动清洗除砂装置,包括工作台,所述工作台上贯穿设有传动轴,且两者之间转动连接,所述传动轴靠近地面一侧设有驱动组件,所述传动轴远离地面一端插设有安装板,且两者之间固定连接,所述安装板远离地面一侧固定连接有托板,所述托板远离地面一侧设有夹持组件,所述夹持组件包括若干凸轮,若干所述凸轮均贯穿且固定连接有第一连接轴,所述第一连接轴贯穿且转动连接于所述托板,所述托板内部开设有空腔,所述第一连接轴靠近所述安装板一侧设有同步传动组件,所述同步传动组件置于所述空腔内部。

通过采用上述技术方案,设置的工作台可以为清洗除砂相关组件提供安装位置,设置的传动轴能够起到连接传动作用,设置的驱动组件能够为传动轴提供驱动力,带动传动轴旋转,便于清洗除砂操作的进行,设置的安装板能够为托板提供安装位置,设置的托板能够便于放置坩埚,设置的夹持组件能够对坩埚进行限位锁定,提升坩埚在旋转以及进行清洗除砂操作过程中的稳定性,设置的同步传动组件能够控制设置的若干凸轮同时转动,能够利用凸轮的侧壁挤压至坩埚的内侧壁,对坩埚起到限位作用,通过坩埚内部进行限位,不会对坩埚外侧壁的清洗除砂操作造成影响,同时,设置的凸轮可以在一定范围内根据不同的坩埚尺寸进行挤压卡接,可以应用于不同齿轮的坩埚,提升了清洗除砂装置的适用性;整体清洗除砂装置利用了凸轮的竖直侧壁距离转动位置不同的特点,通过转动凸轮,可以实现对不同尺寸的坩埚进行卡接,具有较强的实用性。

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