[实用新型]一种倒装贴片机晶圆进料和出料装置

权利要求书

1.一种倒装贴片机晶圆进料和出料装置，其特征在于，包括上夹爪(1)、下夹爪(2)和移动单元，所述上夹爪(1)和下夹爪(2)上下平行设置，所述下夹爪(2)靠近设备的一端通过螺栓固定在设备主体(3)上，所述上夹爪(1)靠近设备的一端通过移动单元连接在设备主体(3)上；

所述上夹爪(1)从左至右包括一体设置的上夹爪头(4)、上连接端(5)和上扁平支撑端(6)，所述上夹爪头(4)和连接端(5)成“凸”字型，所述上夹爪头(4)靠近下夹爪(2)的一侧设置有超出上扁平支撑端(6)的倒勾(7)，所述倒勾(7)靠近连接端(5)的一侧卡设在安装晶圆的外环与薄膜之间；

所述设备主体(3)的背面通过导轨(17)连接在设备的移动端上。

2.根据权利要求1所述的倒装贴片机晶圆进料和出料装置，其特征在于：所述移动单元包括上下移动气缸(8)和左右移动气缸(9)，所述上下移动气缸(8)的底端固定在上夹爪(1)上，顶端通过连接板(10)安装在左右移动气缸(9)上。

3.根据权利要求2所述的倒装贴片机晶圆进料和出料装置，其特征在于：所述设备主体(3)靠近上夹爪头(4)的一侧上设置有限位块(11)，一对所述限位块(11)分别位于连接板(10)的左右。

4.根据权利要求3所述的倒装贴片机晶圆进料和出料装置，其特征在于：所述上夹爪(1)和下夹爪(2)的外形相同，所述下夹爪(2)的外径大于上夹爪(1)的外径；

所述下夹爪(2)从左到右包括下夹爪头(12)、下连接端(13)和下扁平支撑端(14)，所述下夹爪头(12)和下连接端(13)成倒三角形，斜坡向上。

5.根据权利要求4所述的倒装贴片机晶圆进料和出料装置，其特征在于：所述下扁平支撑端(14)靠近上扁平支撑端(6)的一侧设置有限位环(15)，所述限位环(15)设置在靠近设备主体(3)的一侧。

6.根据权利要求5所述的倒装贴片机晶圆进料和出料装置，其特征在于：所述上夹爪头(4)呈倒置的梯形，所述上夹爪头(4)下方斜坡处设置有倒圆角(16)。

7.根据权利要求6所述的倒装贴片机晶圆进料和出料装置，其特征在于：所述下夹爪(2)的尺寸根据晶圆尺寸更换大小。