[实用新型]一种多晶硅生产用氢气除杂系统及多晶硅生产系统有效
| 申请号： | 202120971611.6 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN216155481U | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 武珠峰;吴昌勇;宋高杰;张治锦;刘兴平;宋正平;潘从伟 | 申请（专利权）人： | 内蒙古新特硅材料有限公司;新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/52 | 分类号： | C01B3/52;C01B3/50;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 014100 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生产 氢气 系统 | ||
1.一种多晶硅生产用氢气除杂系统，其特征在于，包括淋洗塔(2)和冷凝器(6)，
所述淋洗塔(2)下部用于储存沸腾的三氯氢硅，且设有进气管；
所述淋洗塔(2)的上部设有喷淋结构(21)，所述冷凝器(6)与喷淋结构(21)之间设有回流管(7)，用于将液化的三氯氢硅导入喷淋结构(21)中；
所述冷凝器(6)与淋洗塔(2)顶部的第一导气管(4)相连。
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产用氢气除杂系统，其特征在于，还包括催化反应器(9)，
所述催化反应器(9)的出口与所述淋洗塔(2)的进气管相连。
3.根据权利要求1所述的多晶硅生产用氢气除杂系统，其特征在于，所述淋洗塔(2)的底部设有第一排料管(5)，所述第一排料管(5)上设有第一启闭阀门。
4.根据权利要求3所述的多晶硅生产用氢气除杂系统，其特征在于，还包括闪蒸罐(10)，所述闪蒸罐(10)与第一排料管(5)相连。
5.根据权利要求4所述的多晶硅生产用氢气除杂系统，其特征在于，还包括加压器(11)，所述加压器(11)分别与所述闪蒸罐(10)的出口、所述淋洗塔(2)的入口相连，用于接收从闪蒸罐(10)送入的三氯氢硅蒸汽，并对其进行加压液化后送回淋洗塔(2)中。
6.根据权利要求4所述的多晶硅生产用氢气除杂系统，其特征在于，所述闪蒸罐(10)的底部设有第二排料管(12)，所述第二排料管上设有第二启闭阀门。
7.根据权利要求1-6任一项所述的多晶硅生产用氢气除杂系统，其特征在于，还包括回流泵(13)，所述回流泵(13)设于喷淋结构(21)和冷凝器(6)之间，用于将冷凝器(6)液化的三氯氢硅压入喷淋结构(21)中。
8.根据权利要求1-6任一项所述的多晶硅生产用氢气除杂系统，其特征在于，所述淋洗塔(2)的下部设有再沸器(3)，用于将淋洗塔(2)下部的三氯氢硅加热至其沸点以上温度。
9.一种多晶硅生产系统，包括还原炉和物料提供单元，其特征在于，所述物料提供单元包括权利要求1-8任一项所述的多晶硅生产用氢气除杂系统。
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