[实用新型]一种光学镜片真空镀膜机有效
| 申请号: | 202120935899.1 | 申请日: | 2021-05-05 |
| 公开(公告)号: | CN214694356U | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
| 发明(设计)人: | 胡汉民;胡文杰 | 申请(专利权)人: | 丹阳市金星光学仪器有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 212321 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光学镜片 真空镀膜 | ||
1.一种光学镜片真空镀膜机,包括真空室(1),其特征在于:所述真空室(1)的一侧固定安装有固定板(3),所述固定板(3)的顶部放置有机械泵安装底座(2),所述机械泵安装底座(2)的另一侧固定套接有机械泵进气口(4),所述机械泵安装底座(2)的底部固定套接有机械泵排气口(6),所述机械泵安装底座(2)的顶部固定连接有机械泵外壳(17),所述机械泵外壳(17)外侧的背面固定连接有油箱(5),所述机械泵安装底座(2)的顶部活动套接有工作机构(9),所述油箱(5)内侧靠近正面的底部固定套接有抽油弯管(12),所述抽油弯管(12)的一端固定套接有第一抽油泵(10),所述第一抽油泵(10)的顶部固定套接有排油弯管(13),所述油箱(5)内部靠近背面的顶部固定套接有进油弯管(14),所述进油弯管(14)的一端固定套接有第二抽油泵(11),所述第二抽油泵(11)的底部固定套接有抽油管(15)。
2.根据权利要求1所述的一种光学镜片真空镀膜机,其特征在于:所述油箱(5)的背面固定连接有冷却泵箱(7),所述油箱(5)的内部放置有冷却管(8),所述冷却管(8)的外侧固定套接有冷却泵(16)。
3.根据权利要求1所述的一种光学镜片真空镀膜机,其特征在于:所述油箱(5)的内部设有隔离板。
4.根据权利要求1所述的一种光学镜片真空镀膜机,其特征在于:所述抽油弯管(12)、进油弯管(14)均贯穿油箱(5)与机械泵外壳(17)。
5.根据权利要求1所述的一种光学镜片真空镀膜机,其特征在于:所述机械泵排气口(6)与机械泵进气口(4)的接管固定连接为三通,所述机械泵排气口(6)的接管与工作机构(9)活动套接。
6.根据权利要求2所述的一种光学镜片真空镀膜机,其特征在于:所述冷却管(8)为弹簧状管并套在工作机构(9)的外侧,所述冷却管(8)贯穿油箱(5)的隔离板并在冷却泵箱(7)内形成回路。
7.根据权利要求2所述的一种光学镜片真空镀膜机,其特征在于:所述真空室(1)与机械泵进气口(4)的连接处密封性良好。
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