[实用新型]一种无氧高纯镉粉生产系统有效

专利信息
申请号: 202120930131.5 申请日: 2021-04-30
公开(公告)号: CN215845712U 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 严嘉明;陈松 申请(专利权)人: 江苏先导微电子科技有限公司
主分类号: B22F9/12 分类号: B22F9/12;C22B17/00
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 肖小龙
地址: 221116 江苏省徐州市高新技*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 高纯 生产 系统
【权利要求书】:

1.一种无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述生产系统包括用于加热并使物料升华的升华炉蒸发罐(1)、冷凝器(2)、物料收集器(3)、抽风机(12)和进气管路组件(10);

所述冷凝器(2)上设有进料口、进气口和排气口,所述冷凝器(2)底部设有排料口,所述进料口与升华炉蒸发罐(1)连通,所述进气口与进气管路组件(10)连接,所述排气口经排气管(9)与抽风机(12)连接,所述冷凝器(2)的排料口与物料收集器(3)连通;

所述物料收集器(3)底部设有卸料口,所述卸料口设有用于密封所述卸料口的密封阀一。

2.如权利要求1所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述生产系统还包括接料槽(6)和密封连接部件(5),所述接料槽(6)的进料口通过密封连接部件(5)与密封阀一密封连接,所述接料槽(6)可抽真空和充入保护气体。

3.如权利要求2所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述密封连接部件(5)的两端可分别与所述密封阀一和接料槽(6)的进料口进行可拆卸密封连接;

所述密封连接部件(5)包括可依次密封连接的密封卡箍一、耐高温连接管、密封卡箍二、密封阀二和密封卡箍三,且所述密封卡箍一可与所述物料收集器(3)卸料口的密封阀一密封连接,所述密封卡箍三可与接料槽(6)进料口密封连接。

4.如权利要求2所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述接料槽(6)上设有进气口和排气口,所述接料槽(6)的进气口与保护气体源连接,所述接料槽(6)的排气口与抽真空设备连接。

5.如权利要求2-4任意一项所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述生产系统还包括用于承载和运送所述接料槽(6)的物料转移车(17);所述生产系统还包括真空手套箱(8),所述真空手套箱(8)与抽真空设备和保护气体源连接。

6.如权利要求1-4任意一项所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述冷凝器(2)底部的排料口和物料收集器(3)均为多个,且物料收集器(3)与冷凝器(2)底部的排料口一一对应。

7.如权利要求1-4任意一项所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述排气管(9)上设有压力表(14)、球阀(15)和测氧仪(16)。

8.如权利要求1-4任意一项所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述生产系统还包括真空泵(7),所述真空泵(7)的一端可通过管道与排气管(9)连接,另一端可通过管道与接料槽(6)连接。

9.如权利要求8所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述生产系统还包括除尘部件(11),所述除尘部件(11)设于所述排气管(9)上,且所述除尘部件(11)的进气口与所述冷凝器(2)的排气口连接,所述除尘部件(11)的排气口与抽风机(12)连接。

10.如权利要求8所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述接料槽(6)的进气口和排气口均设有快接真空球阀(13),所述接料槽(6)进气口处的快接真空球阀(13)可通过管道连接保护气体源,所述接料槽(6)排气口的快接真空球阀(13)可通过管道连接真空泵(7)。

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