[实用新型]一种无氧高纯镉粉生产系统有效
| 申请号: | 202120930131.5 | 申请日: | 2021-04-30 |
| 公开(公告)号: | CN215845712U | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
| 发明(设计)人: | 严嘉明;陈松 | 申请(专利权)人: | 江苏先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号: | B22F9/12 | 分类号: | B22F9/12;C22B17/00 |
| 代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 肖小龙 |
| 地址: | 221116 江苏省徐州市高新技*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 高纯 生产 系统 | ||
1.一种无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述生产系统包括用于加热并使物料升华的升华炉蒸发罐(1)、冷凝器(2)、物料收集器(3)、抽风机(12)和进气管路组件(10);
所述冷凝器(2)上设有进料口、进气口和排气口,所述冷凝器(2)底部设有排料口,所述进料口与升华炉蒸发罐(1)连通,所述进气口与进气管路组件(10)连接,所述排气口经排气管(9)与抽风机(12)连接,所述冷凝器(2)的排料口与物料收集器(3)连通;
所述物料收集器(3)底部设有卸料口,所述卸料口设有用于密封所述卸料口的密封阀一。
2.如权利要求1所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述生产系统还包括接料槽(6)和密封连接部件(5),所述接料槽(6)的进料口通过密封连接部件(5)与密封阀一密封连接,所述接料槽(6)可抽真空和充入保护气体。
3.如权利要求2所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述密封连接部件(5)的两端可分别与所述密封阀一和接料槽(6)的进料口进行可拆卸密封连接;
所述密封连接部件(5)包括可依次密封连接的密封卡箍一、耐高温连接管、密封卡箍二、密封阀二和密封卡箍三,且所述密封卡箍一可与所述物料收集器(3)卸料口的密封阀一密封连接,所述密封卡箍三可与接料槽(6)进料口密封连接。
4.如权利要求2所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述接料槽(6)上设有进气口和排气口,所述接料槽(6)的进气口与保护气体源连接,所述接料槽(6)的排气口与抽真空设备连接。
5.如权利要求2-4任意一项所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述生产系统还包括用于承载和运送所述接料槽(6)的物料转移车(17);所述生产系统还包括真空手套箱(8),所述真空手套箱(8)与抽真空设备和保护气体源连接。
6.如权利要求1-4任意一项所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述冷凝器(2)底部的排料口和物料收集器(3)均为多个,且物料收集器(3)与冷凝器(2)底部的排料口一一对应。
7.如权利要求1-4任意一项所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述排气管(9)上设有压力表(14)、球阀(15)和测氧仪(16)。
8.如权利要求1-4任意一项所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述生产系统还包括真空泵(7),所述真空泵(7)的一端可通过管道与排气管(9)连接,另一端可通过管道与接料槽(6)连接。
9.如权利要求8所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述生产系统还包括除尘部件(11),所述除尘部件(11)设于所述排气管(9)上,且所述除尘部件(11)的进气口与所述冷凝器(2)的排气口连接,所述除尘部件(11)的排气口与抽风机(12)连接。
10.如权利要求8所述的无氧高纯镉粉生产系统,其特征在于,所述接料槽(6)的进气口和排气口均设有快接真空球阀(13),所述接料槽(6)进气口处的快接真空球阀(13)可通过管道连接保护气体源,所述接料槽(6)排气口的快接真空球阀(13)可通过管道连接真空泵(7)。
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