[实用新型]一种硅片清洗烘干用的花篮装置

权利要求书

1.一种硅片清洗烘干用的花篮装置，其特征在于，包括左、右两个U型底板，

在所述U型底板的两侧分别安设有提拉孔。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗烘干用的花篮装置，其特征在于，在所述U型底板的上还分别安设有至少4个支撑杆、至少6个齿杆及至少2个缓冲杆。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗烘干用的花篮装置，其特征在于，所述左、右两个U型底板平行对称的放置在花篮两端。

4.根据权利要求2所述的一种硅片清洗烘干用的花篮装置，其特征在于，至少4个所述的支撑杆为实心柱状，成组对称的固定在左、右两个U型底板（1）的四角上。

5.根据权利要求2所述的一种硅片清洗烘干用的花篮装置，其特征在于，至少6个所述的齿杆分成两组，其中至少3个均布安设在提拉孔的外侧、两个支撑杆之间。

6.根据权利要求5所述的一种硅片清洗烘干用的花篮装置，其特征在于，所述齿杆之间相互水平，在所述齿杆的外壁上匀称的安设有若干个凸出的菱形花篮齿，所述的菱形花篮齿呈钝角状，在相邻的两个菱形花篮齿之间安设有硅片。

7.根据权利要求2所述的一种硅片清洗烘干用的花篮装置，其特征在于，至少2个所述的缓冲杆为圆柱体状，其安设在远离提拉孔一端、相邻的两个支撑杆之间。