[实用新型]一种测温装置及刻蚀机

说明书

本实用新型公开了一种测温装置及刻蚀机，用于检测刻蚀腔体内晶圆的表面温度，其中所述测温装置包括：驱动部件；以及与所述驱动部件连接的温度感应器，所述温度感应器通过所述驱动部件的驱动而接触或脱离所述晶圆。解决了现有通过贴测温试纸而无法准确地监测晶圆表面的温度从而导致产品良率低的问题。

技术领域

本实用新型涉及芯片刻蚀生产领域，尤其涉及的是一种测温装置及刻蚀机。

背景技术

目前，市面上使用的蚀刻机台通常没有设置侦测晶圆表面温度的装置。

在遇到产品缺陷缺陷或者问题而需要查看芯片在反应腔的局部温度时，目前蚀刻设备主制程只能通过在晶圆表面贴测温试纸去观察制程的最高温度。在蚀刻制程过程中，采用该方法仍无法准确地监测晶圆表面的温度，很多时候在分析缺陷问题时候不能得到准确的温度参数。从而导致产品良率低。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种测温装置及刻蚀机，旨在解决现有通过贴测温试纸而无法准确地监测晶圆表面的温度从而导致产品良率低的问题。

本实用新型的技术方案如下：

一种测温装置，用于检测刻蚀腔体内晶圆表面的温度，其中包括：驱动部件；以及

与所述驱动部件连接的温度感应器，所述温度感应器通过所述驱动部件的驱动而接触或脱离所述晶圆。

进一步，所述测温装置还包括中空壁腔，所述驱动部件设置在所述中空壁腔内；

所述中空壁腔设置在所述刻蚀腔体上，所述中空壁腔设置有用于所述温度感应器进出所述刻蚀腔体内的通道。

进一步，所述中空壁腔的内壁上设置有基座，所述驱动部件设置在所述基座上。

进一步，所述驱动部件包括：第一气缸和连接件；

其中，所述第一气缸连接在所述基座上；

所述连接件连接在所述第一气缸的活塞杆上；

所述温度感应器连接在所述连接件上。

进一步，所述基座设置在所述中空壁腔背离所述刻蚀腔体一侧的内壁上，所述连接件连接在所述第一气缸的活塞杆朝向所述晶圆的顶端上；

所述第一气缸的活塞杆位于所述晶圆的上方，且朝向所述晶圆的上表面倾斜设置。

进一步，所述测温装置还包括活动门，所述活动门活动设置在所述通道的开口处。

进一步，所述活动门连接有第二气缸，所述第二气缸驱动所述活动门开启或关闭所述通道。

进一步，所述测温装置还包括控制电路，所述控制电路设置在所述中空壁腔外；

所述控制电路包括：

供电电源，所述供电电源电连接所述温度感应器，并为所述温度感应器供电；

模数信号转化电路板，所述模数信号转化电路板电连接所述温度感应器，并用于将温度感应器所感应的电信号处理成数字信号。

进一步，所述供电电源为24V电源。

进一步，所述温度感应器为电热阻传感器。

基于相同的构思，本实用新型还包括一种刻蚀机，包括刻蚀机本体，以及如上所述的测温装置，所述测温装置设置在所述刻蚀机本体内。