[实用新型]一种金属磁粉芯生产用的高效退火炉

说明书

本实用新型公开了一种金属磁粉芯生产用的高效退火炉，包括恒温退火机构，恒温退火机构包括与地面支撑设置的退火箱，退火箱的端头侧壁开设有鼓风机安装槽位，鼓风机安装槽位的内部内嵌设有托板，托板的中部通过开槽穿插设有鼓风机，其中位于鼓风机的吹风端与退火机构的中部穿插连接，退火箱的侧壁开设有电辅热网板，电辅热网板出风端与退火箱的顶端中部开设有出风开槽，出风开槽的表面固定安放有用于恒温退火的U型放置板。本实用新型一种金属磁粉芯生产用的高效退火炉，通过设有的退火箱、鼓风机安装槽位和鼓风机，以便在使用过程中，达到鼓风机的安装，并由此启动鼓风机，产生负压抽吸力。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种金属磁粉芯生产用的高效退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

1）目前现阶段的金属磁粉芯在加工过程，需要将金属磁粉芯进行高温电加热，在加热完成后还需要进行更为便捷的退火操作，传统的退火设备在使用时不便于将金属磁粉芯进行抽拉退火处理，不利于后续的磁粉芯的升温和稳步降温的目的；

2）现有的金属磁粉芯在退火的过程中，其本体温度较高，不便于将其运输至退火设备中进行统一退火操作，人工操作容易烫伤具有一定的危险性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种金属磁粉芯生产用的高效退火炉，以解决上述背景技术提出的不利于对金属磁粉芯的退火加工的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种金属磁粉芯生产用的高效退火炉，包括恒温退火机构，所述恒温退火机构包括与地面支撑设置的退火箱，所述退火箱的端头侧壁开设有鼓风机安装槽位，所述鼓风机安装槽位的内部内嵌设有托板，所述托板的中部通过开槽穿插设有鼓风机，其中位于鼓风机的吹风端与恒温退火机构的中部穿插连接，所述退火箱的侧壁开设有电辅热网板，所述电辅热网板出风端与退火箱的顶端中部对应开设有出风开槽，所述出风开槽的表面固定安放有用于恒温退火的U型放置板，其中所述U型放置板的中部开设有用于恒温加热的燃烧网板。

作为本实用新型一种优选方案：所述退火箱的顶端两边缘处分别竖直设有风冷退火机构，其中所述风冷退火机构包括分别与退火箱两边缘处支撑设置的两根支撑框架，其中两侧所述支撑框架的两边缘处均横向支撑设有散热网板，所述散热网板的出风端与中部柱体横向支撑连接，所述散热网板的内部嵌设有散热风机。

作为本实用新型一种优选方案：两侧所述支撑框架之间设置有推移机构，所述推移机构包括与两根支撑框架之间限位支撑的放置板面，所述放置板面的中部横向安装有丝杆驱动箱，所述丝杆驱动箱的底部开设有丝杆槽位，位于丝杆槽位的中部横向穿插有丝杆，所述丝杆驱动箱的内部设置有驱动电机，所述驱动电机的输出端与外侧设置的丝杆传动连接，所述丝杆的底部套设有螺纹套，所述螺纹套的底端穿插设有连接杆，所述连接杆的底端卡设有卡扣，所述卡扣的底部套接有管套。

作为本实用新型一种优选方案：所述管套的中部夹紧设有用于存放金属磁粉芯的热传导筒，所述热传导筒的一侧设有冷却退火机构，所述冷却退火机构包括与支撑框架两边角支持固定的退火网箱，所述退火网箱的内部设置有喷淋管，所述退火网箱的底部密封连通有放置箱，所述放置箱的边缘处穿插有退火管套，所述退火管套的端头侧壁与热传导筒的位置相对应。