[实用新型]一种石墨舟倾斜定位装置

说明书

本实用新型涉及一种石墨舟倾斜定位装置，其用于对石墨舟中装载的硅片进行倾斜整片操作，包括传输机构、旋转机构和支撑定位机构；所述传输机构上放置有装载硅片的石墨舟，所述旋转机构与所述传输机构连接以带动所述传输机构转动；所述支撑定位机构位于所述传输机构的两侧，所述支撑定位机构与所述传输机构相配合，以对倾斜状态的所述石墨舟进行支撑和限位。其能够使得石墨舟中的硅片更加齐整，后续对硅片进行吸取的过程中不易出现漏吸或者吸盘被撞碎的情况。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是指一种石墨舟倾斜定位装置。

背景技术

在光伏电池片工艺中，管式PECVD是一道重要的工艺流程，可分为前镀膜和后镀膜。其中的硅片镀膜载体为石墨舟。硅片在石墨舟中状态为卡点定位，硅片与定位卡点之间存在一定的取放间隙。目前传统的对石墨舟进行定位的装置为水平定位，容易导致硅片不齐整，在机器人吸盘吸取硅片时，存在漏吸或吸盘撞碎硅片的情况。

现考虑一种石墨舟倾斜定位装置以有效解决此问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种石墨舟倾斜定位装置，其能够使得石墨舟中的硅片更加齐整，后续对硅片进行吸取的过程中不易出现漏吸或者吸盘被撞碎的情况。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种石墨舟倾斜定位装置，包括传输机构、旋转机构和支撑定位机构；所述传输机构上放置有装载硅片的石墨舟，所述旋转机构与所述传输机构连接以带动所述传输机构转动；所述支撑定位机构位于所述传输机构的两侧，所述支撑定位机构与所述传输机构相配合，以对倾斜状态的所述石墨舟进行支撑和限位。

作为优选的，所述旋转机构包括支撑架；所述支撑架上设置有固定轴，所述固定轴上间隔套设有多个轴承；所述传输机构与所述轴承连接。

作为优选的，所述旋转机构中还包括第一驱动源，所述轴承与所述第一驱动源连接，所述轴承带动所述传输机构在所述固定轴上转动。

作为优选的，所述传输机构包括第二驱动源、框架、传送皮带、主动轮和被动轮；所述被动轮设置在所述框架的两端，所述传送皮带设置在被动轮之间，所述传送皮带绕设在所述被动轮上；所述第二驱动源连接所述主动轮并作为驱动主动轮的动力源，所述主动轮连接至少一个被动轮。

作为优选的，所述被动轮设置有至少一组。

作为优选的，所述传输机构上还设置有用于对所述石墨舟进行定位的限位组件；所述限位组件与所述支撑定位机构配合，以将载有硅片的石墨舟围设在所述传输机构内。

作为优选的，所述限位组件包括分别设置在所述传输机构两端的第一限位件和第二限位件。

作为优选的，所述第一限位件为安装在所述传输机构其中一端的限位板，所述石墨舟的端部与所述限位板相抵靠。

作为优选的，所述第二限位件包括第一连杆和第二连杆；所述第一连杆固定在所述传输机构上，所述第二连杆通过螺栓与所述第一连杆转动连接，调节所述第二连杆，以使得所述石墨舟被夹设定位在所述第一限位件和第二限位件之间。

作为优选的，所述石墨舟倾斜定位装置还包括机架，所述传输机构、旋转机构和支撑定位机构均设置在所述机架上。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

1、本实用新型通过设置传输机构、旋转机构和支撑定位机构，能够在没有额外接触的情况下利用旋转机构带动传输机构转动，使得石墨舟上装载的硅片向一边倾斜，使得硅片更加齐整；在后续对硅片进行吸取时不易漏吸或撞碎硅片。

2、本实用新型的支撑定位机构位于传输机构的两侧，旋转机构带动石墨舟倾斜时，支撑定位机构能够较好的对石墨舟进行承接和定位，避免石墨舟中的硅片掉落。

附图说明