[实用新型]一种应用于探针台的多通道测试装置

权利要求书

1.一种应用于探针台的多通道测试装置，包括工作台(1)，其特征在于：

所述工作台(1)的台面上设置有显微镜位移台(2)，其内部工作腔设置有探卡翻转位移台(4)和晶圆卡盘机构(6)；

所述显微镜位移台(2)包括三轴位移组件，其前端设置有显微镜机构(3)；

所述探卡翻转位移台(4)包括探卡Y轴位移组件(401)和若干探卡X轴位移组件(402)，所述若干探卡X轴位移组件(402)均通过探卡翻转机构(403)滑动设置在所述探卡Y轴位移组件(401)上；

所述若干探卡X轴位移组件(402)上均滑动设置有若干探卡机构(5)，所述若干探卡机构(5)均包括探卡四轴微调滑台和探卡；

所述晶圆卡盘机构(6)设置在所述探卡机构(5)的下方。

2.如权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述探卡四轴微调滑台包括探卡Z轴微调滑台(501)、探卡X轴微调滑台(502)、探卡Y轴微调滑台(504)和探卡θ轴微调滑台(506)；所述探卡机构(5)通过探卡滑块(4021)滑动设置在所述探卡X轴位移组件(402)的滑轨上，所述探卡Z轴微调滑台(501)设置在所述探卡滑块(4021)的后端，所述探卡X轴微调滑台(502)设置在所述探卡Z轴微调滑台(501)的后端，所述探卡Y轴微调滑台(504)通过L形转接板设置在所述探卡X轴微调滑台(502)的下端，所述探卡θ轴微调滑台(506)设置在所述探卡Y轴微调滑台(504)的下端，所述探卡(507)通过快拆机构设置所述探卡θ轴微调滑台(506)的前端。

3.如权利要求2所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述探卡机构(5)上还设置有线缆保护罩(505)。

4.如权利要求2所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述探卡θ轴微调滑台(506)包括θ轴转动板和θ轴限位块，所述θ轴转动板通过θ轴转动轴设置在所述探卡Y轴微调滑台(504)的下端，所述θ轴限位块用于控制所述探卡θ轴微调滑台(506)的转动角度。

5.如权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述探卡翻转机构(403)包括翻转底座(4031)和翻转上板(4033)，所述翻转上板(4033)转动设置在所述翻转底座(4031)上，所述翻转底座(4031)前后端均设置有用于吸附所述翻转上板(4033)的磁力扣(4032)；所述翻转底座(4031)下端通过所述探卡Y轴位移组件的滑块滑动设置在所述探卡Y轴位移组件的滑轨上，所述翻转上板(4033)上端固定有所述探卡X轴位移组件(402)的滑轨。

6.如权利要求5所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述翻转上板(4033)为L形翻转上板，其前端还设置有翻转手柄(4034)。

7.如权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述晶圆卡盘机构(6)包括晶圆卡盘水平位移台(601)、晶圆卡盘四轴微调组件(602)和温控晶圆卡盘组件(603)；所述晶圆卡盘四轴微调组件(602)设置在所述晶圆卡盘水平位移台(601)的上端，所述温控晶圆卡盘组件(603)设置在所述晶圆卡盘四轴微调组件(602)的上端。

8.如权利要求7所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述温控晶圆卡盘组件(603)集成真空管路和真空吸盘。

9.如权利要求1-8任一权利要求所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述工作腔经隔离板(103)隔离开来形成上下工作舱，所述隔离板(103)上端设置有多组移动密封托盘(7)，所述移动密封托盘(7)采用中间开孔四周设置有挡板结构，从上到下多组移动密封托盘(7)的中间开孔和尺寸依次增大，最上层的移动密封托盘中间开孔套在所述晶圆卡盘机构(6)上，将所述晶圆卡盘机构(6)上下隔离，上下各个移动密封托盘(7)相对滑动，始终保持上下工作腔相互隔离。

10.如权利要求9所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述工作台(1)前面还设置有调节面板(101)和前门板(102)。