[实用新型]一种晶体提拉炉的保护罩有效
| 申请号: | 202120893582.6 | 申请日: | 2021-04-27 |
| 公开(公告)号: | CN214694456U | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
| 发明(设计)人: | 黄健 | 申请(专利权)人: | 上海翌波光电科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/30 |
| 代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 温开瑞 |
| 地址: | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 晶体 提拉炉 护罩 | ||
本申请涉及一种晶体提拉炉的保护罩,其包括支撑架、波纹套管和至少一个夹固件,所述支撑架设置在炉体上,所述波纹套管夹设在夹固件内,且所述波纹套管通过夹固件与支撑架滑动连接,本申请波纹套管套设在单晶提拉杆暴露在空气中的部位,单晶提拉杆在上下移动过程中,有助于阻碍空气中的灰尘吸附在单晶提拉杆上,具有提高产品质量的效果。
技术领域
本申请涉及晶体生产的技术领域,尤其是涉及一种晶体提拉炉的保护罩。
背景技术
提拉法是一种从熔体中提拉生长高质量单晶的方法,20世纪60年代,提拉法进一步发展为一种更为先进的定型晶体生长方法-熔体导模法,即直接从熔体中拉制出具有各种截面形状晶体的生长技术。
相关技术中授权公告号为CN204825116U的中国专利公开了一种单晶体生产用烧结炉,包括设有真空接口的炉体、坩埚、单晶提拉杆、支架、旋转电机和升降电机,所述支架上设置炉体和固定架,炉体上有大炉盖,电极安装在大炉盖上,大炉盖上装有小炉盖,小炉盖正上方设置有托板,托板上设有旋转电机,旋转电机输出端穿过托板与单晶提拉杆转动连接,所述固定架上设置有导轨,托板侧部与固定架通过导轨滑动连接,所述炉体内设有坩埚,坩埚置于坩埚托盘上,坩埚的上方有坩埚盖,坩埚盖上面有上隔热层,坩埚的外层设置有发热体,发热体两侧顶部与大炉盖上的电极连接。
针对上述中的相关技术,在升降电机的驱动下,单晶提拉杆上下移动,部分单晶提拉杆暴露在空中,空气中的一些灰尘吸附在单晶提拉杆上,使得所制产品的质量下降。
实用新型内容
为了提高产品的质量,本申请提供一种晶体提拉炉的保护罩。
本申请提供的一种晶体提拉炉的保护罩采用如下的技术方案:
一种晶体提拉炉的保护罩,包括支撑架、波纹套管和至少一个夹固件,所述支撑架设置在炉体上,所述波纹套管夹设在夹固件内,且所述波纹套管通过夹固件与支撑架滑动连接。
通过采用上述技术方案,波纹套管套设在单晶提拉杆暴露在空气中的部位,单晶提拉杆在上下移动过程中,有助于阻止空气中的灰尘吸附在单晶提拉杆上,从而提高了产品的质量。
本实用新型进一步设置为:所述支撑架包括至少一个导向杆,所述导向杆竖直设置,所述导向杆的底端固定连接在炉体的顶壁上,所述波纹套管通过夹固件滑动连接在导向杆上。
通过采用上述技术方案,在升降电机的驱动下,单晶提拉杆上下移动,波纹套管沿轴向方向被压缩和拉伸,夹固件随着波纹套管在导向杆上滑移,导向杆对夹固件的滑移起到了导向作用。
本实用新型进一步设置为:所述支撑架包括两个导向杆,两个所述导向杆分别位于波纹套管的两侧,两个所述导向杆竖直设置且两个导向杆的底端固定连接在炉体的顶壁上。
通过采用上述技术方案,两个导向杆分别位于波纹套管的两侧,既对夹固件的滑移起到了导向作用,又增加了夹固件的滑移的稳定性。
本实用新型进一步设置为:所述支撑架包括四个导向杆,四个所述导向杆分别位于波纹套管的四周,四个所述导向杆竖直设置且四个导向杆的底端固定连接在炉体的顶壁上。
通过采用上述技术方案,四个导向杆分别位于波纹套管的四周,对夹固件的滑移起到了导向作用,又进一步增加了夹固件的滑移的稳定性;四个导向杆还提高了支撑架整体的稳固性。
本实用新型进一步设置为:所述夹固件包括夹紧环和至少一个滑动板,所述夹紧环套在波纹套管的外管壁上,所述滑动板的一端与夹紧环的外环壁固定连接,所述滑动板的另一端与导向杆滑动连接。
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