[实用新型]一种长晶炉气体供送装置

权利要求书

1.一种长晶炉气体供送装置，其特征在于，

包括多个对长晶炉的晶体生长腔提供气体的气体供送单元，每个所述气体供送单元均包括气体源、第一气体通道和第二气体通道，所述第一气体通道上设有第一流量控制单元，所述第二气体通道上设有第二流量控制单元；

每个所述气体源经与其对应的所述第一气体通道和所述第一流量控制单元与所述晶体生长腔气路连通设置，每个所述气体源经与其对应的所述第二气体通道和所述第二流量控制单元与所述晶体生长腔气路连通设置；当所述第一流量控制单元和所述第二流量控制单元中的一个处于异常工作状态时，所述气体源经两者中的另一个所在的气路对所述晶体生长腔提供所需气体。

2.根据权利要求1所述长晶炉气体供送装置，其特征在于，

每个所述气体供送单元所包括的所述第一气体通道和所述第二气体通道并联设置，于所述第一流量控制单元进气上游的所述第一气体通道上设有第一开关，于所述第二流量控制单元进气上游的所述第二气体通道上设有第二开关；

当所述第一流量控制单元工作异常时，所述第一开关处于关断状态，所述第二开关处于接通状态；当所述第二流量控制单元工作异常时，所述第一开关处于接通状态，所述第二开关处于关断状态。

3.根据权利要求2所述长晶炉气体供送装置，其特征在于，

每个所述气体供送单元还包括第三开关和第四开关，所述第一流量控制单元排气下游的所述第一气体通道经所述第三开关与所述晶体生长腔气路连接，所述第二流量控制单元排气下游的所述第二气体通道经所述第四开关与所述晶体生长腔气路连接；

当所述第一开关处于打开状态时，所述第三开关处于打开状态，且所述第二开关和所述第四开关中的至少一个处于关断状态；当所述第二开关处于打开状态时，所述第四开关处于打开状态，且所述第一开关和所述第三开关中的至少一个处于关断状态。

4.根据权利要求3所述长晶炉气体供送装置，其特征在于，

每个所述气体供送单元还包括第五开关和第六开关，所述第一流量控制单元与所述第一开关之间的气体通道经所述第五开关与所述第一流量控制单元的排气下游的所述第一气体通道气路连接设置，所述第一流量控制单元的排气下游的所述第一气体通道经所述第六开关与负压发生单元的进气口气路连接设置；当所述第一流量控制单元拆装后，所述第五开关和所述第六开关包括同时打开状态，以将进入所述第一气体通道内的气体由所述负压发生单元排出；和/或，

每个所述气体供送单元还包括第七开关和第八开关，所述第二流量控制单元与所述第二开关之间的气体通道经所述第七开关与所述第二流量控制单元的排气下游的所述第二气体通道气路连接设置，所述第二流量控制单元的排气下游的所述第二气体通道经所述第八开关与负压发生单元气路连接设置；当所述第一流量控制单元拆装后，所述第七开关和所述第八开关包括同时打开状态，以将进入所述第二气体通道内的气体由所述负压发生单元排出。

5.根据权利要求1所述长晶炉气体供送装置，其特征在于，

每个所述气体供送单元均包括稳压容器和过滤单元，每个所述气体源经所述稳压容器和所述过滤单元与所述第一气体通道和所述第二气体通道相连通，气体流经所述稳压容器和所述过滤单元并由所述第一气体通道和/或所述第二气体通道对所述晶体生长腔提供设定气体。

6.根据权利要求5所述长晶炉气体供送装置，其特征在于，

所述过滤单元设于所述稳压容器内部，或所述过滤单元设于所述稳压容器与气体源之间的气体通道上，或所述过滤单元设于所述稳压容器与所述第一流量控制单元和所述第二流量控制单元之间的气体通道上。

7.根据权利要求1至6中任一项所述长晶炉气体供送装置，其特征在于，

所述长晶炉气体供送装置还包括气体混合容器，每个所述气体供送单元所包括的所述第一气体通道和所述第二气体通道经所述气体混合容器与所述晶体生长腔气路连通设置。