[实用新型]一种高效芯片洗干仪的检测装置

权利要求书

1.一种高效芯片洗干仪的检测装置，包括壳体(2)，其特征在于：所述壳体(2)的上端通过合页(3)活动安装有上盖板(4)，所述壳体(2)的下侧内部设置有隔板(16)，所述隔板(16)的中部上端设置有电机(18)，所述电机(18)的上侧在壳体(2)的内部设置有横板(20)所述电机(18)的上侧贯穿横板(20)内侧开设的轴孔连接有安装机构(23)，所述安装机构(23)包括转动杆(233)，所述转动杆(233)的下端外部设置有主动齿轮(15)，所述主动齿轮(15)的两侧设置有从动齿轮(19)，所述从动齿轮(19)设置在混匀杆(21)的下侧外端，所述混匀杆(21)的下侧通过轴承座设置在隔板(16)的内侧上端，所述壳体(2)的上侧两端内壁上设置有加热室(22)。

2.如权利要求1所述的一种高效芯片洗干仪的检测装置，其特征在于：所述加热室(22)的内侧设置有加热元件(14)，所述加热室(22)的上侧在壳体(2)的内壁上设置有温度感测器(13)，所述壳体(2)的左侧上端连通有进水口(8)，所述壳体(2)的左侧一端连通有排水口(1)，所述进水口(8)和排水口(1)上都设置有电磁阀。

3.如权利要求1所述的一种高效芯片洗干仪的检测装置，其特征在于：所述上盖板(4)的上侧设置有把手(5)，所述上盖板(4)的右侧通过固定螺栓(6)螺纹安装在壳体(2)右侧上端开设的螺纹安装板上，所述壳体(2)的上侧外端设置有视孔(12)，所述视孔(12)的右上侧设置有信号灯(7)，所述视孔(12)的下侧设置有控制室(10)。

4.如权利要求1所述的一种高效芯片洗干仪的检测装置，其特征在于：所述壳体(2)的底部四端设置有套管，所述套管的下端活动安装有弹簧杆(9)，所述弹簧杆(9)的底部连接有支撑底座(25)，所述电机(18)的两侧在壳体(2)内壁上设置有散热风扇，所述散热风扇的外侧和壳体(2)的下侧两端设置有散热网(11)。

5.如权利要求1所述的一种高效芯片洗干仪的检测装置，其特征在于：所述壳体(2)的下侧内壁上设置有配电箱(17)，所述混匀杆(21)上设置有多个混匀桨，所述转动杆(233)的上端设置有外螺纹(232)，所述外螺纹(232)的下侧在转动杆(233)上设置有支撑横板。

6.如权利要求5所述的一种高效芯片洗干仪的检测装置，其特征在于：所述支撑横板的上侧在转动杆(233)的外端套设有安装架(234)，所述安装架(234)的外端设置有多个安装环(235)，所述安装环(235)的两侧设置有放置柱(236)，所述放置柱(236)上设置有多个芯片放置框(24)，所述芯片放置框(24)上设置有框盖，所述安装架(234)的上侧通过螺纹固定环(231)安装在转动杆(233)上，所述芯片放置框(24)上设置有多个漏水孔。