[实用新型]一种蓝宝石晶片的研磨装置有效

专利信息
申请号: 202120863048.0 申请日: 2021-04-25
公开(公告)号: CN214980291U 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 王慧芳;林传宝 申请(专利权)人: 焦作华瀚光电有限公司
主分类号: B24B55/03 分类号: B24B55/03;B24B55/06;B24B7/22;B24B41/06
代理公司: 河南银隆律师事务所 41186 代理人: 王帅可
地址: 454150 河南省焦作*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 蓝宝石 晶片 研磨 装置
【说明书】:

实用新型提供一种蓝宝石晶片的研磨装置,涉及蓝宝石加工技术领域,该一种蓝宝石晶片的研磨装置,包括倾斜设置的放置盘,所述放置盘的上表面开设有用于放置蓝宝石晶片的放置槽,且所述蓝宝石晶片的厚度大于所述放置槽的深度;倾斜设置的研磨盘,与所述放置盘的倾斜角度相同,且所述研磨盘的下表面与放置盘的上表面之间留有间隙;放置盘上的蓝宝石晶片能够间歇式的研磨,由于放置盘和研磨盘倾斜设置,因此在转动过程中,部分没有被研磨盘遮挡的蓝宝石产生的废屑经过研磨液的混合后,受重力影响,废屑随着研磨液滑落,因此避免废屑重新回流至晶片研磨面上,导致晶片划伤甚至崩边的问题,大大的提高了晶片的研磨质量。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石加工技术领域,具体是一种蓝宝石晶片的研磨装置。

背景技术

蓝宝石具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性。其质量对器件的质量,寿命等起关键作用。随着科学技术的发展,蓝宝石的应用领域越来越广泛,涉及科研、航空航天、国防、生活等各个领域,如精磨研磨轴承、激光红外透光材料、半导体芯片的衬底片、表镜等。

蓝宝石晶片在研磨的过程中,需要加入研磨液,而蓝宝石晶片经过研磨脱落的废屑与研磨液充分混合后,脱落的废屑再次循环至盘面上,并在研磨盘的作用下,产生的废屑容易对晶片造成划痕甚至崩边,导致晶片的加工质量较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石晶片的研磨装置,旨在解决现有技术中蓝宝石晶片经过研磨脱落的废屑容易对晶片造成划痕甚至崩边,导致晶片的加工质量较差的问题。

为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:一种蓝宝石晶片的研磨装置,包括:

倾斜设置的放置盘,所述放置盘的上表面开设有用于放置蓝宝石晶片的放置槽,且所述蓝宝石晶片的厚度大于所述放置槽的深度;

倾斜设置的研磨盘,与所述放置盘的倾斜角度相同,且所述研磨盘的下表面与放置盘的上表面之间留有间隙,以使研磨盘的下表面接触蓝宝石晶片的上表面;

驱动装置,所述驱动装置用于驱动研磨盘和放置盘同步转动以使研磨盘对蓝宝石晶片进行研磨,且所述研磨盘的转动方向与放置盘的转动方向相反;

注液装置,所述注液装置用于将研磨液添加至研磨盘上,以使研磨液与蓝宝石晶片充分混合;

集液装置,用于收集研磨液。

为了使得本实用新型具有驱动放置盘和研磨盘转动的作用,本实用新型的进一步的技术方案为,所述驱动装置包括驱动箱,所述驱动箱的内部转动连接有两个驱动轴,两个所述驱动轴的外表面均固定连接有齿轮,且所述两个齿轮之间相互啮合连接,其中一个所述驱动轴穿过驱动箱与所述研磨盘固定连接,另外一个所述驱动轴穿过驱动箱与所述放置盘固定连接,所述驱动箱的底部固定连接有电机,所述电机的输出端与其中一个所述驱动轴固定连接。

为了使得本实用新型具有添加研磨液的作用,本实用新型的进一步的技术方案为,所述注液装置包括与驱动箱固定连接有支撑座,所述支撑座的顶部通过支撑杆固定连接有注液箱,所述注液箱的内部设置有研磨液,所述注液箱的底部固定安装有排液管,所述排液管的底端固定连接有排液板,所述排液板的下表面开设有漏液孔,且所述排液板的位置与放置盘的位置相对应。

为了使得本实用新型具有控制研磨液的流量的作用,本实用新型的进一步的技术方案为,所述排液管上设置有阀门。

为了使得本实用新型具有收集研磨液的作用,本实用新型的进一步的技术方案为,所述集液装置包括倾斜设置的安装板,所述安装板的顶部设置有围板,所述安装板的内部开设有供研磨液流出的通孔,且所述通孔位于安装板的内侧,所述安装板的底部与通孔相对应的位置处固定连接有导流管,所述导流管的下端设置有用于接收研磨液的料筒。

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