[实用新型]一种超声波测量治具有效

专利信息
申请号: 202120856028.0 申请日: 2021-04-23
公开(公告)号: CN214703440U 公开(公告)日: 2021-11-12
发明(设计)人: 安爱博;李文磊;严政先;张晋英;张碧波;徐小占;边卓利;李嘉蔚;赵欣;孙晨光;王彦君 申请(专利权)人: 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
主分类号: G01N29/04 分类号: G01N29/04;G01N29/22
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 代理人: 薛萌萌
地址: 214200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 超声波 测量
【说明书】:

实用新型提供了一种超声波测量治具,包括架体,通过调节组件移动安装在架体上的移动座,以及通过横移组件移动安装在移动座上的超声测量探棒;架体两侧壁对称设有滑槽,调节组件对称安装在滑槽内,移动座设有两个,两个移动座对称安装在调节组件上,横移组件一端转动安装在其中一个移动座上,另一端贯穿另一个移动座后连接有调节头,超声测量探测棒通过探棒安装座安装在横移组件上。本实用新型所述的超声波测量治具通过调节组件与横移组件的配合,以及架体与横移组件上的刻度尺,从而实现超声测量探棒的准确位置调整,并且调节好位置后,不会自动移动能够使得每次测量的位置都一样,方便对测量结果进行比对和分析。

技术领域

本实用新型属于超声波测量领域,尤其是涉及一种超声波测量治具。

背景技术

硅片清洗机的超声槽需要定期进行超声测量检定。①以往手持超声测量探棒进行测量时,会因为手持抖动,而造成测量指针波动很大,读数不准;②其次,因为手持测量法,无法固定每次测量的点位,造成每次检测的结果无可比性;③手持法测量时,需要一人手持测量,另一人读数并记录。

实用新型内容

有鉴于此,本实用新型旨在提出一种超声波测量治具,以解决超声测量探棒进行测量时因为手持抖动,而造成测量指针波动很大,读数不准、以及不能够定位测量的结果无法对比的问题。

为达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的:

一种超声波测量治具,包括架体,通过调节组件移动安装在架体上的移动座,以及通过横移组件移动安装在移动座上的超声测量探棒;

架体两侧壁对称设有滑槽,调节组件对称安装在滑槽内,移动座设有两个,两个移动座对称安装在调节组件上,横移组件一端转动安装在其中一个移动座上,另一端贯穿另一个移动座后连接有调节头,超声测量探测棒通过探棒安装座安装在横移组件上。

进一步的,调节组件包括第一调节杆、第二调节杆,第一调节杆一端设有第一齿轮,第二调节杆一端设有第二齿轮,第一齿轮通过第一传动带与第三齿轮连接,第二齿轮通过第二传动带与第四齿轮连接,第三齿轮与第四齿轮通过转轴连接。

进一步的,第一调节杆与第二调节杆对称安装在对应的滑槽内,两个滑槽端部连通有齿轮腔,第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮均位于齿轮腔内,第一调节杆贯穿滑槽后与第一齿轮连接,第二调节杆贯穿滑槽后与第二齿轮连接,转轴一端转动安装在齿轮腔的中间部位,另一端贯穿架体侧壁后连接有摇杆。

进一步的,两个移动座底部分别设有滑块,滑块上设有螺纹孔,第一调节杆、第二调节杆分别贯穿对应的滑块。

进一步的,横移组件包括螺杆,螺杆一端转动安装在其中一个移动座的侧壁上,螺杆的另一端贯穿另一个移动座的侧壁后与调节头连接。

进一步的,探棒安装座上设有安装孔,安装孔内设有螺纹,探棒安装座套接在螺杆外壁。

进一步的,两个移动座之间安装有刻度板,探棒安装座上设有矩形滑槽,刻度板位于矩形滑槽内。

进一步的,两个移动座之间安装有限位杆,探棒安装座上设有与限位杆相对应的通孔,限位杆贯穿探棒安装座。

进一步的,探棒安装座侧壁上设有第一弧形槽,超声测量探棒通过夹板安装在第一弧形槽内,夹板上设有与第一弧形槽相对应的第二弧形槽,超声测量探棒安装在与第一弧形槽与第二弧形槽之间,第一弧形槽、第二弧形槽内均安装有防滑块,探棒安装座与夹板安装座上均设有空腔,防滑块一端与空腔侧壁之间设有多个弹簧,防滑块另一端延伸至弧形槽内,夹板通过螺栓固定在探棒安装座侧壁。

相对于现有技术,本实用新型所述的一种超声波测量治具具有以下有益效果:

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