[实用新型]一种硅片背封机用兼容托盘及兼容顶针托板

权利要求书

1.一种硅片背封机用兼容托盘及兼容顶针托板，包括托盘(1)、放置在托盘(1)上的硅片、以及用于推动硅片上升的顶针托板(2)，其特征在于：顶针托板(2)上可调节安装有顶针(4)；

托盘(1)上设有多个顶针孔，顶针托板(2)上设有滑槽(21)，顶针(4)通过顶针基座(3)可调节安装在滑槽(21)内，顶针(4)贯穿顶针孔后将硅片顶起。

2.根据权利要求1所述的一种硅片背封机用兼容托盘及兼容顶针托板，其特征在于：托盘(1)上设有第一硅片槽(11)、第二硅片槽(12)、第三硅片槽(13)、第一硅片槽(11)直径大于第二硅片槽(12)、第二硅片槽(12)大于第三硅片槽(13)，第三硅片槽(13)内设有三个第一顶针孔(14)，第二硅片槽(12)内设有三个第二顶针孔(15)，三个第一顶针孔(14)与三个第二顶针孔(15)相对设置，顶针(4)设有三个，三个顶针(4)分别贯穿第一顶针孔(14)或第二顶针孔(15)后将硅片顶起。

3.根据权利要求2所述的一种硅片背封机用兼容托盘及兼容顶针托板，其特征在于：顶针托板(2)为三角结构，三角上分别设有滑槽(21)，滑槽(21)分别于三个第一顶针孔(14)、三个第二顶针孔(15)相对应，三个顶针(4)分别通过顶针基座(3)安装在三个滑槽(21)内。

4.根据权利要求1所述的一种硅片背封机用兼容托盘及兼容顶针托板，其特征在于：顶针基座(3)外壁顶部设有第一环形凸台(33)，第一环形凸台(33)直径大于滑槽(21)的宽度，第一环形凸台(33)坐落在滑槽(21)上方，顶针基座(3)中间部位于滑槽(21)内，顶针基座(3)下半部设有外螺纹，顶针基座(3)下半部安装有螺母(32)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片背封机用兼容托盘及兼容顶针托板，其特征在于：顶针基座(3)内设有空腔(31)，顶针基座(3)底部设有第一通孔，第一通孔内设有内螺纹，顶针(4)底部设有旋转部(42)，旋转部(42)上设有外螺纹，旋转部(42)安装在第一通孔内，旋转部(42)上设有第二环形凸台(41)，第二环形凸台(41)位于空腔(31)内，顶针基座(3)顶部设有第二通孔，顶针(4)直径与第二通孔相通，顶针(4)贯穿第二通孔延伸至顶针基座(3)上方。

6.根据权利要求5所述的一种硅片背封机用兼容托盘及兼容顶针托板，其特征在于：旋转部(42)底部设有旋转头(43)。

7.根据权利要求1所述的一种硅片背封机用兼容托盘及兼容顶针托板，其特征在于：顶针托板(2)上设有安装部(22)，安装部(22)内设有安装孔，顶针托板(2)通过安装部(22)安装在顶升机上。

8.根据权利要求1所述的一种硅片背封机用兼容托盘及兼容顶针托板，其特征在于：托盘(1)安装在背封机的机架上。