[实用新型]尾气处理装置

说明书

本实用新型涉及一种尾气处理装置，包括：防爆箱、安装在防爆箱内的一次点火器、安装在防爆箱内的第一氢气探测器、以及安装在防爆箱内的二次点火器。防爆箱的底部设有氢气入口和空气入口。防爆箱的顶部设有排气口。一次点火器位于氢气入口处。一次点火器用于产生火花以点燃氢气入口处的氢气。第一氢气探测器位于氢气入口处并且连接一次点火器。二次点火器位于排气口处并且连接第一氢气探测器。二次点火器用于发热以点燃排气口处的氢气。上述尾气处理装置，采用二次燃烧的方式清除尾气中的氢气，并且，采用自动化点火的方式，实现氢气的安全点火，提高作业的安全性。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种尾气处理装置。

背景技术

在半导体领域中，氢气是一种应用十分广泛的气体，例如在气相外延沉积中作为反应气体，又例如在其他反应中作为运输性载气。因此，在半导体制作过程中产生的尾气中会带有氢气。

在半导体领域中，对于带有氢气的尾气，常见的处理方式有两种：其一，通过管道直排到户外；其二，点火燃烧，根据化学公式2H₂+O₂＝2H₂O，氢气燃烧后生成水。直排户外的处理方式对周围环境造成一定的危害，特别是氢气排放处存在安全隐患。而点火燃烧的处理方式，大多数是在管道的出口处进行人工点火处理，而由于在局部空间内，氢气达到预设的浓度时，会存在爆燃的危险，因此，人工点火非常危险。

因此，需要研发一种可以针对带有氢气的尾气实现自动化点火的尾气处理装置，实现氢气的安全点火，提高作业的安全性。

实用新型内容

基于此，本实用新型提供一种尾气处理装置，采用二次燃烧的方式清除尾气中的氢气，并且，采用自动化点火的方式，实现氢气的安全点火，提高作业的安全性。

一种尾气处理装置，包括：

防爆箱；防爆箱的底部设有氢气入口和空气入口；防爆箱的顶部设有排气口；

安装在防爆箱内的一次点火器；一次点火器位于氢气入口处；一次点火器用于产生火花以点燃氢气入口处的氢气；

安装在防爆箱内的第一氢气探测器；第一氢气探测器位于氢气入口处并且连接一次点火器；以及

安装在防爆箱内的二次点火器；二次点火器位于排气口处并且连接第一氢气探测器；二次点火器用于发热以点燃排气口处的氢气。

上述尾气处理装置，工作时，带有氢气的尾气从氢气入口进入到防爆箱的内腔，而外部空气从空气入口进入到防爆箱的内腔。当第一氢气探测器检测位于氢气入口处的氢气浓度达到点燃所需的燃烧阈值时，一次点火器产生火花以点燃氢气以实现一次燃烧。由于进入到防爆箱的氢气具有一定的流速，所以在一次燃烧后还可能残留有少量的氢气。因此，在排气口处设置了二次点火器，由于经过一次燃烧后的氢气浓度已经很低，难以通过火花点燃，所以二次点火器充通过发热的方式点燃残留的氢气以实现二次燃烧，进一步降低从排气口处排出的废气中的氢气浓度。此外，一次点火器和二次点火器通过第一氢气探测器触发工作，因此，可以实现自动化点火，避免人工点火作业。通过上述设计，采用二次燃烧的方式清除尾气中的氢气，并且，采用自动化点火的方式，实现氢气的安全点火，提高作业的安全性。

在其中一个实施例中，尾气处理装置还包括：连接防爆箱的加压泵；加压泵连通氢气入口以对尾气进行加压输入。加压泵用于将尾气加压输入到防爆箱，使得尾气的流速达到预设值，提高尾气处理的效率。

在其中一个实施例中，空气入口为连通防爆箱的内腔与外部大气的贯穿孔。利用空气入口将外部大气的引入到防爆箱内，并且随着氢气的燃烧和防爆箱的顶部的废弃排放，形成从防爆箱的底部流向防爆箱的顶部的气流，使得外部的空气源源不断地从防爆箱的底部被吸入到防爆箱内。