[实用新型]光源装置及显微系统

说明书

本申请提供一种光源装置及显微系统。光源装置包括发光件及与发光件耦合的导光柱。发光件用于发射光线；导光柱用于导引发光件的光线至预设的照明位置，发光件发射光线的一端与导光柱靠近发光件的一端对应，发光件发射的光线的中心线与导光柱的中心线重合，导光柱的靠近发光件的一端不可弯曲。本申请的光源装置及显微系统中，发光件发射光线的一端与光线进入导光柱的一端对应，导光柱靠近发光件的一端不可弯曲，使得发光件发射的光线的中心线与导光柱的中心线重合，通过导光柱能够将发光件发射的光线最大程度耦合到预设的照明位置，减少发光件发射的光线的损失，提高发光件发射的光线的均匀性，使得照射到工件上的光斑均匀性更好。

技术领域

本申请涉及显微照明技术领域，更具体而言，涉及一种光源装置及显微系统。

背景技术

显微系统是采用显微成像技术来检测精密工件，例如晶圆的细微缺陷的系统，通常，显微系统在显微成像时，需要用到光源装置对工件进行照明，由于科勒照明可以很容易的获得均匀的照明光斑，显微系统中的照明多用科勒照明。

科勒照明是显微系统在高光强的照明要求下，用光纤连接到高功率灯箱，将灯箱的光能引入到科勒照明的发光面位置，此时，光纤的出射端的表面为显微系统科勒照明的发光面，光纤的出射端的发光光强随角度的分布，也就是光纤发出的光线中照射到工件表面上的光线(照明光斑)的光照强度分布。然而，光纤对光束的传输效率随光线出射角的增加而降低，直到完全衰减，这会导致照射到工件上的光斑不均匀。

实用新型内容

本申请实施方式提供一种光源装置及显微系统。

本申请实施方式的光源装置包括发光件及与所述发光件耦合的导光柱，所述发光件用于发射光线；所述导光柱用于导引所述发光件发出的光线至预设的照明位置，所述发光件发射光线的一端与所述导光柱靠近所述发光件的一端对应，所述发光件发射的光线的中心线与所述导光柱的中心线重合，所述导光柱的靠近所述发光件的一端不可弯曲。

在某些实施方式中，所述导光柱为正多边形棱柱体、圆柱体、或长方体。

在某些实施方式中，所述导光柱包括入射面，所述光源装置还包括耦合透镜。所述耦合透镜设置于所述发光件与所述导光柱之间，用于缩小所述发光件发出的光线的发散角度至预定范围并导引至所述入射面。

在某些实施方式中，所述预定范围为70°±5°。

在某些实施方式中，所述光源装置还包括安装板、安装筒及电路板。所述安装板包括相背的第一侧及第二侧，并开设有通孔；所述安装筒安装于所述安装板的第一侧，用于收容所述导光柱，所述导光柱的入光面与所述通孔对应；所述电路板安装于所述安装板的第二侧，所述发光件夹设于所述电路板与所述安装板之间，并与所述通孔对应，所述发光件与所述电路板电性连接。

在某些实施方式中，所述光源装置还包括第一散热器。所述第一散热器设置于所述电路板的远离所述发光件的一侧，用于对所述电路板进行散热。

在某些实施方式中，所述光源装置还包括导电件及第二散热器。所述导电件与所述电路板的远离所述发光件的一侧电性连接；所述第二散热器穿设于所述导电件，并用于对所述导电件进行散热。

在某些实施方式中，所述导光柱包括出光面，所述光源装置还包括匀光片。所述匀光片设置在所述出光面的一侧，并用于将从所述出光面出射的光线转换为均匀光斑。

在某些实施方式中，所述匀光片与所述出光面接触。

本申请实施方式的显微系统包括显微成像装置及上述任一实施方式的光源装置，在所述光源装置对工件照明时，所述显微成像装置用于获取所述工件的图像。