[实用新型]一种LTCC铜电极共烧炉

说明书

本实用新型公开了一种LTCC铜电极共烧炉。该LTCC铜电极共烧炉包括一个中空的炉体，所述炉体的内部设置有一个内胆，所述内胆的内部用于放置陶瓷产品；其中，所述炉体的各侧内壁上均安装有加热元件，并且所述炉体的底部连接有一根进气管，所述进气管能够通入氢气和氮气的混合气体，并且所述进气管连接有一个加湿装置。本实用新型中的一种LTCC铜电极共烧炉通过设置六面加热以保证烧结时的温度均匀性，还通入氮气和氢气并加湿混合水蒸气，以在高温下产生微氧化，促进铜电极和陶瓷的结合，从而避免出现加热不均匀或者电极和陶瓷结合不稳定的情况，并保证了加工制造的效果和产品的质量。

技术领域

本实用新型涉及封装技术领域，特别涉及一种LTCC铜电极共烧炉。

背景技术

随着科学技术的不断进步，目前电子产品外形可变得更小型和更薄但功能却更强大，以移动电话的无线通信产业为例，其尺寸逐渐减少，早期的移动电话的功能是从最简单的音频传输的数据开始，目前已经发展到掌上网络电脑。而如果能将部分无源元件集成到基板中，则不仅有利于系统的小型化，提高电路的组装密度，还有利于提高系统的可靠性。

目前的集成封装技术主要有薄膜技术、硅片半导体技术、多层电路板技术以及LTCC技术等。LTCC技术，即低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic)技术是一种集互联、无源元件和封装于一体的多层陶瓷制造技术，是一种低成本封装的解决方法，具有研制周期短的特点，并且其所制成的封装基板可满足轻，薄，短，小的需求。

然而，在使用LTCC技术制造基板时，往往需要将电极与陶瓷进行结合并且进行烧结的过程，而在此过程中，可能会出现加热不均匀或者电极和陶瓷结合不稳定的情况，从而影响了加工制造的效果和产品的质量，提高了制造的成本。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供了一种LTCC铜电极共烧炉。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种LTCC铜电极共烧炉，包括一个中空的炉体，所述炉体的内部设置有一个内胆，所述内胆的内部用于放置陶瓷产品；其中，所述炉体的各侧内壁上均安装有加热元件，并且所述炉体的底部连接有一根进气管，所述进气管能够通入氢气和氮气的混合气体，并且所述进气管连接有一个加湿装置。

本实用新型中的一种LTCC铜电极共烧炉通过设置六面加热以保证烧结时的温度均匀性，还通入氮气和氢气并加湿混合水蒸气，以在高温下产生微氧化，促进铜电极和陶瓷的结合，从而避免出现加热不均匀或者电极和陶瓷结合不稳定的情况，并保证了加工制造的效果和产品的质量。

在一些实施方式中，所述加热元件有六个，并且分别于所述内胆的六个侧面相对。由此，通过从六个侧面对内胆以及其中的陶瓷进行加热，最大限度保证了加热的均匀性。

在一些实施方式中，所述陶瓷产品的底部设置有承烧板。由此，承烧板用于对陶瓷进行稳定支撑。

在一些实施方式中，所述炉体的顶部设置有排气管。由此，通过排气管能够将炉体中由加热所产生的废气排出。

在一些实施方式中，所述炉体的功率为20kw。由此，设置了炉体加热的合适功率。

在一些实施方式中，所述炉体的最高温度为1050℃。由此，设置了炉体加热的温度上限，其中较为常用的温度为950℃左右。

在一些实施方式中，所述内胆的材质为SUS310S不锈钢或者Inconel601合金。由此，设置了内胆材质的具体材质。

在一些实施方式中，所述加热元件为电热丝或者电热带。由此，设置了加热元件的具体种类。

在一些实施方式中，所述进气管还连接有露点仪和氧分析仪。由此，通过露点仪能够控制加湿装置的加湿温度，而通过氧分析仪能够测量和控制炉内混合气体中的含氧量。