[实用新型]一种硅棒长度的自动测量装置

说明书

本实用新型属于硅棒自动检测技术领域，尤其为一种硅棒长度的自动测量装置，包括主体框架，所述主体框架的内部设有用于升降的底部顶升气缸，所述底部顶升气缸的顶部设有用于放置硅棒的工装板，所述主体框架的内部设有用于测量硅棒长度的自动测量结构，所述主体框架的内部设有四个大小形状相同的导向轴杆，所述主体框架的内部靠近其一侧的内壁上设有横向移动模组。本实用新型，通过底部顶升气缸，将运输到测距工位的硅棒进行升起，通过伺服电机，使第一十字双轴模组和第二十字双轴模组移动，进而使第一十字双轴模组和第二十字双轴模组一侧的激光检测仪分别对硅棒的两端进行进行对焦测距，进而测算出硅棒的长度。

技术领域

本实用新型涉及硅棒自动检测技术领域，具体为一种硅棒长度的自动测量装置。

背景技术

光伏产业和半导体产业是我们国家的重要产业。而单晶硅是这些产业的重要原材料。单晶硅棒是单晶硅通过电炉熔炼而成的。单晶硅棒的制造过程是单晶硅从熔炉里出来后，被挤压成圆柱体，在挤压的过程中，其外部形成了不规则的波纹状的结构。为了便于制造、运输，挤压成型的单晶硅棒要被切割机床切割成小段，由于单晶硅棒比较重，在切割的过程中，单晶硅棒的两个端面都会有一定程度的斜度。为了减少浪费，一般都需要把每根单晶硅棒的具体尺寸测量出来，方便下一道工序根据单晶硅棒的尺寸情况，制定相应的加工方案，以求最大限度多生产出芯片基材来。

目前硅棒长度的自动测量装置存在以下问题：

1、目前主要使用人工对硅棒进行检测，工作效率低，劳动强度大；

2、通过此装置实现了硅棒的自动化测量，使测量效率更高，测量精度更高，同时降低了劳动成本。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅棒长度的自动测量装置，解决了主要使用人工对硅棒进行检测，测量的效率和精度较低，劳动成本高的问题。

(二)技术方案。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种硅棒长度的自动测量装置，包括主体框架，所述主体框架的内部设有用于升降的底部顶升气缸，所述底部顶升气缸的顶部设有用于放置硅棒的工装板，所述主体框架的内部设有用于测量硅棒长度的自动测量结构，所述主体框架的内部设有四个大小形状相同的导向轴杆，所述主体框架的内部靠近其一侧的内壁上设有横向移动模组。

进一步地，所述主体框架的内部靠近其顶部设有两个伺服电机且两个伺服电机分别位于主体框架内部的两侧。

进一步地，所述自动测量结构包括设置在主体框架内部的第一十字双轴模组且第一十字双轴模组靠近主体框架一侧的内壁，所述主体框架的内部设有第二十字双轴模组且第一十字双轴模组于第二十字双轴模组分别位于主体框架的两侧，所述第一十字双轴模组和第二十字双轴模组均与其所在侧的伺服电机相连接。

进一步地，所述第一十字双轴模组和第二十字双轴模组的相对侧靠近底部处均设有用于测距的激光检测仪。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅棒长度的自动测量装置，具备以下有益效果：

1、本实用新型，通过底部顶升气缸，将运输到测距工位的硅棒进行升起，通过伺服电机，使第一十字双轴模组和第二十字双轴模组移动，进而使第一十字双轴模组和第二十字双轴模组一侧的激光检测仪分别对硅棒的两端进行进行对焦测距，进而测算出硅棒的长度，无需人工测量，工作效率高，劳动强度低。

2、本实用新型，通过底部顶升气缸使工装与线体分离，通过激光检测仪对硅棒进行测量，之后通过测量程序可以计算出硅棒的长度，实现了自动化测量，降低了劳动成本，提高了测量效率以及测量精度。

附图说明