[实用新型]真空吸附平台

说明书

本实用新型公开一种真空吸附平台，包括：平台本体，所述平台本体设有通气通道，所述通气通道与真空源连接，所述平台本体的上表面间隔设置有多个贯穿至所述平台上表面的吸附孔，所述吸附孔靠近所述平台本体上表面的侧壁垂直于所述平台本体的上表面，所述吸附孔与所述通气通道连通。本实用新型技术方案能够防止柔性膜材在真空吸附时发生塑性变形。

技术领域

本实用新型涉及真空吸附技术领域，特别涉及一种真空吸附平台。

背景技术

在向柔性膜材表面贴附功能性膜材的过程中，现有技术通常是通过在平台上设置多个真空吸附孔以将柔性膜材吸附固定在平台上，真空吸附孔的孔口处设有倒角，在吸附超薄型(厚度小于300微米)的柔性膜材时，容易使柔性膜材在吸附处发生塑性变形，如图1所示，尤其在光电薄膜类材料中，柔性膜材变形会导致其功能性变差。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种真空吸附平台，旨在防止柔性膜材在真空吸附时发生塑性变形。

为实现上述目的，本实用新型提出的真空吸附平台，包括：

平台本体，所述平台本体设有通气通道，所述通气通道与真空源连接，所述平台本体的上表面间隔设置有多个贯穿至所述平台本体上表面的吸附孔，所述吸附孔靠近所述平台本体上表面的侧壁垂直于所述平台本体的上表面，所述吸附孔与所述通气通道连通。

可选的，多个所述吸附孔呈阵列排列。

可选的，相邻两排的所述吸附孔错位设置。

可选的，各排所述吸附孔之间的排间距一致，各列所述吸附孔之间的列间距一致。

可选的，相邻两排所述吸附孔之间的间距为0.3厘米至0.4厘米，相邻两列所述吸附孔之间的间距为0.3至0.4厘米。

可选的，所述吸附孔沿所述平台本体厚度方向延伸。

可选的，所述吸附孔为圆柱形孔。

可选的，所述吸附孔的孔径为0.2毫米至0.3毫米。

可选的，所述通气通道包括沿所述平台本体长度方向延伸的第一通气通孔，所述平台本体包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一通气通孔的两孔口分别设于所述第一侧壁和所述第二侧壁上，所述吸附孔与所述第一通气通孔连通，所述第一通气通孔与所述真空源连接。

可选的，所述通气通道还包括沿所述平台本体宽度方向延伸的第二通气通孔，所述平台本体还包括连接所述第一侧壁和所述第二侧壁并且相对设置的第三侧壁与第四侧壁，所述第二通气通孔的两孔口分别设于所述第三侧壁和所述第四侧壁上，所述第一通气通孔与所述第二通气通孔相交以相互连通，所述吸附孔还与所述第二通气通孔连通，所述第二通气通孔与所述真空源连接。

可选的，所述第一通气通孔与所述第二通气通孔的数量均为多个，多个所述第一通气通孔间隔设置，多个所述第二通气通孔间隔设置。

可选的，所述第一通气通孔和所述第二通气通孔均为圆柱形孔。

本实用新型技术方案通过设置吸附孔靠近所述平台本体上表面的侧壁垂直于所述平台本体的上表面，即吸附孔的上孔口处没有倒角，使得在抽真空时，吸附孔的上孔口处于同一高度的各点的流速相等，即各点受到的压强差相等，整体受力更均匀，能够有效防止柔性膜材真空吸附在平台上表面时发生塑性变形。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为现有技术的真空吸附平台的贴膜效果图；