[实用新型]一种动密封结构及具有其的真空泵有效
| 申请号: | 202120815943.5 | 申请日: | 2021-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN215170771U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
| 发明(设计)人: | 陈林;苗占全;邓高飞 | 申请(专利权)人: | 中科九微科技有限公司 |
| 主分类号: | F04C27/00 | 分类号: | F04C27/00;F04C25/02;F04C29/00 |
| 代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 郑越 |
| 地址: | 637000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 密封 结构 具有 真空泵 | ||
1.一种动密封结构,其特征在于,包括:
底座(1);
上盖(2),与所述底座(1)相对且间隙设置,所述底座(1)和所述上盖(2)之间形成中空腔体,所述中空腔体内充入有保护气体;
主轴(3),贯穿所述中空腔体设置,且与所述上盖(2)相连接,以在所述主轴(3)旋转时带动所述上盖(2)同步旋转,所述主轴(3)适于安装轴承,且所述轴承设于所述中空腔体内;
密封条(4),设于所述上盖(2)靠近所述底座(1)的一面上,所述密封条(4)间隔设有多条,且由所述上盖(2)靠近所述底座(1)的一面的中心向外部呈发散状设置,所述密封条(4)与所述上盖(2)外周的交点处的切向与所述密封条(4)之间的夹角呈锐角,所述上盖(2)旋转时,所述密封条(4)带动所述间隙处的气体旋转形成气体屏障。
2.根据权利要求1所述的动密封结构,其特征在于,所述密封条(4)呈弧形或渐开线形,多个所述密封条(4)的旋向与所述上盖(2)的旋转方向相反。
3.一种真空泵,其特征在于,包括权利要求1或2所述的动密封结构。
4.根据权利要求3所述的真空泵,其特征在于,所述底座(1)呈中空圆柱结构,所述中空圆柱结构的外表面沿周向向外延伸形成第一延伸部(5),所述上盖(2)为转子芯套(6),所述转子芯套(6)罩设于所述底座(1)的外部,包括与所述中空圆柱结构间隙设置的套体(7)和与所述第一延伸部(5)相对且间隙设置的第二延伸部(8),所述密封条(4)设于所述第二延伸部(8)靠近所述第一延伸部(5)的一面上。
5.根据权利要求4所述的真空泵,其特征在于,所述密封条(4)的材质为铝合金、或者为不锈钢、或者为碳钢。
6.根据权利要求5所述的真空泵,其特征在于,所述密封条(4)一体成型于所述第二延伸部(8)上。
7.根据权利要求3所述的真空泵,其特征在于,所述主轴(3)的转速不低于10000转/分钟。
8.根据权利要求3所述的真空泵,其特征在于,所述保护气体为惰性气体或者为氮气。
9.根据权利要求4所述的真空泵,其特征在于,所述保护气体由所述底座(1)的中空部分朝向所述转子芯套(6)通入。
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