[实用新型]一种吸嘴结构有效

专利信息
申请号: 202120813000.9 申请日: 2021-04-20
公开(公告)号: CN215644436U 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 吴春悦;何正鸿;严鑫 申请(专利权)人: 甬矽电子(宁波)股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 代理人: 邓世凤
地址: 315400 浙江省宁*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 结构
【说明书】:

本实用新型的一种吸嘴结构,包括吸嘴固定环,所述吸嘴固定环安装在金属贴装底座上,吸嘴安装在吸嘴固定环上并以此固定于金属贴装底座,包括吸嘴固定环,所述吸嘴固定环内壁设置环状密封凸台,所述密封凸台内壁设置插孔,所述吸嘴固定环自侧壁设置销孔贯通至插孔;所述吸嘴为双头吸嘴,包括一端的大头吸嘴和相对端的小头吸嘴,销孔配设固定销,所述大头吸嘴或者小头吸嘴插装在插槽后,固定销插入销孔顶紧吸嘴固定,所述密封凸台用于密封住吸嘴的贴装头上的安装孔。本实用新型的目的在于提供一种在同一个金属吸嘴底座,就能作业不同型号的吸嘴尺寸的吸嘴结构。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种吸嘴结构。

背景技术

随着半导体行业的快速发展,在半导体装置的制造过程芯片贴装工序,需要利用贴装头吸嘴将芯片吸取贴装在基板上,贴装头吸嘴的大小主要根据芯片尺寸的大小选择,往往使用金属贴装头吸嘴吸取芯片,来避免芯片背面划伤以及提高芯片贴装时的焊接性。因此,金属贴装头吸嘴作业不同尺寸的芯片时,需要配备不同尺寸的吸嘴贴装头,带来经济成本的增加和更换作业时的不便。

发明内容

为克服现有金属贴装头吸嘴存在的上述缺陷,本实用新型的目的在于提供一种在同一个金属吸嘴底座,就能作业不同型号的吸嘴尺寸的吸嘴结构。

为实现上述目的,本实用新型的一种吸嘴结构,包括吸嘴固定环,所述吸嘴固定环安装在金属贴装底座上,吸嘴安装在吸嘴固定环上并以此固定于金属贴装底座,包括吸嘴固定环,所述吸嘴固定环内壁设置环状密封凸台,所述密封凸台内壁设置插孔,所述吸嘴固定环自侧壁设置销孔贯通至插孔;所述吸嘴为双头吸嘴,包括一端的大头吸嘴和相对端的小头吸嘴,销孔配设固定销,所述大头吸嘴或者小头吸嘴插装在插槽后,固定销插入销孔顶紧吸嘴固定,所述密封凸台用于密封住吸嘴的贴装头上的安装孔。

进一步地,所述吸嘴固定环内壁贯通设置插孔,所述插孔内壁配合大头吸嘴的外壁设置,所述插孔两端的吸嘴固定环的内壁均设置所述密封凸台。

进一步地,所述吸嘴固定环选用磁性材质吸附吸嘴。

进一步地,所述吸嘴大头吸嘴和小头吸嘴为一体设计,吸嘴设置在吸嘴杆上,所述吸嘴杆中部贯通一真空孔用于吸附芯片,吸嘴杆大头一端为大头吸嘴、小头一端为小头吸嘴。

进一步地,所述密封凸台可替换为密封凹槽,密封凹槽通过其凹槽密封吸嘴的贴装头上的安装孔。

本实用新型的吸嘴结构,吸嘴选用双头吸嘴,双头均可插装于吸嘴固定环,以通过其作业芯片尺寸的大小选择更换不同型号的吸嘴,实现同一个金属吸嘴底座,作业不同型号的吸嘴尺寸,通过吸嘴密封凸台,实现安装于贴装头上。

附图说明

图1为本实用新型实施例1的结构示意图;

图2为本实用新型实施例1的吸嘴固定环的结构示意图;

图3为本实用新型实施例1的吸嘴结构示意图;

图4为本实用新型实施例2的结构示意图;

附图中,吸嘴固定环100;固定销120;密封凸台200;插孔210;大头吸嘴310;小头吸嘴320;吸嘴杆400;密封凹槽500。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细地描述。

实施例1

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