[实用新型]一种废气处理反应装置

说明书

本实用新型属于废气处理技术领域，公开了一种废气处理反应装置，包括：内筒，内部形成有反应腔室，且所述内筒筒壁贯穿开设有若干连通反应腔室的第一通风孔；外筒，套设于所述内筒外，所述外筒与所述内筒之间形成风冷层，所述第一通风孔连通所述风冷层；所述外筒沿轴向间隔设有至少两组进风口组，每组所述进风口组包括至少两个沿所述外筒周向均布的进风口。本实用新型提高了单位时间进入反应腔室的风量，且空气均匀进入反应腔室，使得废气燃烧更均匀充分。

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种废气处理反应装置。

背景技术

半导体行业作为高科技行业的同时也是高污染行业，在芯片生产制作中，会产生大量的易燃、剧毒等工业废气，处理此类废气时，通常采用天然气对其进行燃烧处理，燃烧处理的效果好坏与空气的占比以及分布均匀性有很大的相关性，其中，用于废气燃烧的废气处理装置，其反应腔室的结构是影响燃烧处理效果的重要因素。

现有废气处理装置的反应腔室存在风量不足，空气分布不均的问题，导致内部燃烧不均匀，而且反应腔室存在其内壁一部分表面温度较高、另一部分温度较低的情况，影响废气燃烧效果。

实用新型内容

本申请实施方式的目的在于提供一种废气处理反应装置，提高了单位时间进入反应腔室的风量，且空气能够均匀进入反应腔室，使得废气燃烧更均匀充分。

为达此目的，本申请实施方式采用以下技术方案：

一种废气处理反应装置，包括：

内筒，内部形成有反应腔室，且所述内筒筒壁贯穿开设有若干连通所述反应腔室的第一通风孔；

外筒，套设于所述内筒外，所述外筒与所述内筒之间形成风冷层，所述第一通风孔连通所述风冷层；所述外筒沿轴向间隔设有至少两组进风口组，每组所述进风口组包括至少两个沿所述外筒周向均布的进风口。

通过外筒沿轴向间隔设有至少两组进风口组，且每组进风口组沿外筒周向均布设有至少两个进风口，随后通过形成的风冷层以及第一通风孔，外界空气可以经多个进风口均匀进入风冷层，随后从第一通风孔进入反应腔室进行助燃，该结构的设置提高了单位时间进入反应腔室的风量，且空气均匀进入反应腔室，使得废气燃烧更均匀充分。

此外，风冷层的设置，也使得空气进入风冷层后扩散覆盖更多的第一通风孔，进而经更多的第一通风孔进入反应腔室，使得空气均匀进入反应腔室，而且风冷层也能够实现外筒与内筒的温度隔离，使得燃烧过程中外筒筒壁温度符合安全生产要求。

作为优选，相邻两组所述进风口组中，其中一组所述进风口组的所述进风口与另外一组所述进风口组的所述进风口交错设置。

通过不同组的进风口交错设置，使得外界空气从不同位置进入风冷层，进而使得内部气流分布更加均匀。

作为优选，所述内筒筒壁包括第一位置和第二位置，所述第一位置正对所述进风口且形成所述挡风部，所述第一通风孔开设于所述第二位置；

或者，所述挡风部设于所述内筒的内壁或外壁，并封堵正对所述进风口的所述第一通风孔。

通过设置挡风部，使得经进风口进入的空气被阻挡，进而沿挡风部四周扩散，并在扩散后经多个第一通风孔进入反应腔室，使得空气分布更均匀。

作为优选，所述挡风部上开设有第二通风孔，所述第一通风孔的孔径为所述第二通风孔的孔径的5-8倍。

通过在挡风部上开设孔径远小于第一通风孔孔径的第二通风孔，能够使得少部分空气经该第二通风孔进入反应腔室，进而使得反应腔室内部风量分布更加均匀。

作为优选，所述第一通风孔沿所述挡风部径向向外扩散分布。