[实用新型]一种真空低温电子束辐照试验装置

说明书

一种真空低温电子束辐照试验装置，涉及一种真空低温电子束辐照试验装置。本实用新型是要解决现有的开放电子辐照室无法实现真空低温条件复合辐照试验条件，制备真空低温箱要解决电子束辐照穿透能力低的技术问题。本实用新型的装置具有真空获得和样品台低温制冷功能，可以实现低温真空复合场条件下材料和电子器件电子束辐照效应模拟试验研究，本装置设有性能测试接口，可实现电子器件的原位性能测试功能，是电子束辐照效应研究必不可少的装置。

技术领域

本实用新型涉及一种真空低温电子束辐照试验装置。

背景技术

空间辐射环境是航天器在轨运行所面临的重要环境要素之一，因其诱发的单粒子效应、总剂量效应、位移损伤效应、表面充放电效应、内带电效应等既可引起航天器材料、器件、系统等在轨损伤、性能退化甚至失效，为满足空间辐射环境对材料及电子器件的使用要求，引发了研究人员对耐辐射材料及器件加固技术的研发。然而，验证材料、器件及系统的使用寿命的主要手段之一就是空间辐射环境地面模拟试验。空间辐射环境是比较较复杂的，往往是不同场的复合，包括真空、低温、带电粒子辐射的复合，这样复杂场的地面模拟试验需要辅助试验设备的支撑，真空低温电子束辐照试验装置是进行空间辐射环境地面模拟试验研究的基础设备，发明真空低温电子束辐照试验装置对进行复合场的电子束辐照试验研究具有重要意义。

实用新型内容

本实用新型是要解决现有的开放电子辐照室无法实现真空低温条件复合辐照试验条件，制备真空低温箱要解决电子束辐照穿透能力低的技术问题，而提供一种真空低温电子束辐照试验装置。

本实用新型的真空低温电子束辐照试验装置是由电子束进口钛膜盖板1、钛膜2、电子束进口连接法兰3、真空罐体法兰4、真空罐体5、观察窗法兰盖板6、有机玻璃观察窗7、观察窗接口法兰8、冷台9、绝热垫板10、工作台支架11、真空快接口12、液氮接口13、真空测试快接口14、真空密封插座接线端子接口法兰15、真空密封插座接线端子16和罐体法兰17组成；

所述的电子束进口连接法兰3为一个中心为空心的法兰板，电子束进口连接法兰3的外壁底端固定真空罐体法兰4；电子束进口钛膜盖板1的结构与电子束进口连接法兰3相同，电子束进口钛膜盖板1位于电子束进口连接法兰3的上方且两者通过螺杆固定，钛膜2设置在电子束进口钛膜盖板1位于电子束进口连接法兰3之间；

所述的真空罐体5为长方体结构，其侧壁顶部固定罐体法兰17，真空罐体5的一个侧壁上设置一个通孔，在通孔的内壁上固定观察窗接口法兰8，观察窗法兰盖板6通过螺栓固定在观察窗接口法兰8的外侧，有机玻璃观察窗7夹在观察窗法兰盖板6和观察窗接口法兰8之间；在真空罐体5中有机玻璃观察窗7相对的侧壁上设置真空快接口12；真空罐体法兰4与罐体法兰17通过螺栓固定；

所述的真空罐体5的内腔底面中心处设置工作台支架11，工作台支架11上依次设置绝热垫板10和冷台9，冷台9位于钛膜2的正下方；冷台9的内部为空腔结构，设置有进口9-2和出口9-1，内腔中均匀设置多个互相交错的隔板9-3；真空罐体5的一个侧壁上设置两个液氮接口13，分别与进口9-2和出口9-1连通，液氮接口13所在的侧壁与有机玻璃观察窗7所在的侧壁垂直；

在真空罐体5中液氮接口13相对的侧壁上设置真空测试快接口14和真空密封插座接线端子接口法兰15，真空测试快接口14在真空密封插座接线端子接口法兰15的上方；真空密封插座接线端子接口法兰15的外侧通过螺栓固定真空密封插座接线端子16。