[实用新型]一种CZ单晶炉静态热场测量装置

权利要求书

1.一种CZ单晶炉静态热场测量装置，包括炉桶，炉桶顶部设有炉盖，炉桶内设有坩埚，炉盖内侧设有可升降的籽晶杆，其特征在于：还包括石墨测量条和测温仪；石墨测量条为长条状，石墨测量条活动挂在籽晶杆上，石墨测量条的长度方向与炉桶的轴向垂直；石墨测量条上表面设有沿长度方向、且等间距设置的缺口标记；炉盖上设有观察孔，测温仪通过关节轴承安装在观察孔内，且测温仪的测温探头指向炉桶内。

2.如权利要求1所述的CZ单晶炉静态热场测量装置，其特征在于：相邻两缺口标记之间的间隔为0.8～1.2cm。

3.如权利要求1或2所述的CZ单晶炉静态热场测量装置，其特征在于：石墨测量条的长度为450～550mm，宽度为15～25mm，厚度为4～6mm。

4.如权利要求1或2所述的CZ单晶炉静态热场测量装置，其特征在于：观察孔外侧对接有安装管，测温仪通过关节轴承安装在安装管内侧。

5.如权利要求1或2所述的CZ单晶炉静态热场测量装置，其特征在于：测温仪的顶部为观察目镜、底部设有测温探头。

6.如权利要求1或2所述的CZ单晶炉静态热场测量装置，其特征在于：测温仪为RAYTEK红外测温仪。

7.如权利要求1或2所述的CZ单晶炉静态热场测量装置，其特征在于：关节轴承上设有收紧螺丝。

8.如权利要求1或2所述的CZ单晶炉静态热场测量装置，其特征在于：石墨测量条长度方向的中央位置活动挂在籽晶杆上。