[实用新型]一种双向进出管式PECVD设备有效
| 申请号： | 202120783881.4 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN215887226U | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 高斌;施文成;李友军;李友萍 | 申请（专利权）人： | 无锡德欣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50 |
| 代理公司： | 无锡市才标专利代理事务所(普通合伙) 32323 | 代理人： | 吕志垚 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市锡山区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双向 进出 pecvd 设备 | ||
1.一种双向进出管式PECVD设备，包括放舟室(1)、预热室(2)、PECVD反应室(3)、冷却室(4)和取舟室(5)，其特征在于：所述放舟室(1)左侧设置有预热室(2)，所述预热室(2)左侧设置有PECVD反应室(3)，所述PECVD反应室(3)左侧设置有冷却室(4)，所述冷却室(4)左侧设置有取舟室(5)，所述PECVD反应室(3)内部设置防辐射隔热机构。
2.根据权利要求1所述的一种双向进出管式PECVD设备，其特征在于：所述防辐射隔热机构包括反应室外壳(301)、隔热层二(302)、缓冲垫一(303)、弹簧(304)、缓冲垫二(305)、防辐射层(306)和隔音层(307)，所述反应室外壳(301)内部设置有隔热层二(302)，所述隔热层二(302)内部设置缓冲垫一(303)，所述缓冲垫一(303)左侧设置有弹簧(304)，所述弹簧(304)左侧设置有缓冲垫二(305)，所述缓冲垫二(305)设置在隔音层(307)上，所述隔音层(307)内部设置有防辐射层(306)。
3.根据权利要求2所述的一种双向进出管式PECVD设备，其特征在于：所述反应室外壳(301)内部通过焊接固定连接有隔热层二(302)，所述隔热层二(302)内部通过焊接固定连接缓冲垫一(303)，所述缓冲垫一(303)左侧通过焊接固定连接有弹簧(304)，所述弹簧(304)左侧通过焊接固定连接有缓冲垫二(305)，所述缓冲垫二(305)通过焊接固定连接在隔音层(307)上，所述隔音层(307)内部通过焊接固定连接有防辐射层(306)。
4.根据权利要求1所述的一种双向进出管式PECVD设备，其特征在于：所述放舟室(1)左侧通过焊接固定连接有预热室(2)，所述预热室(2)左侧通过焊接固定连接有PECVD反应室(3)，所述PECVD反应室(3)左侧通过焊接固定连接有冷却室(4)，所述冷却室(4)左侧通过焊接固定连接有取舟室(5)。
5.根据权利要求1所述的一种双向进出管式PECVD设备，其特征在于：所述放舟室(1)、预热室(2)、PECVD反应室(3)、冷却室(4)和取舟室(5)下方通过焊接固定连接有底座(9)，所述放舟室(1)、预热室(2)、PECVD反应室(3)、冷却室(4)和取舟室(5)之间通过焊接固定连接有隔热层一(8)。
6.根据权利要求5所述的一种双向进出管式PECVD设备，其特征在于：所述底座(9)下方通过焊接固定连接支柱(6)，所述支柱(6)下方通过焊接固定连接软垫(7)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡德欣光伏科技有限公司，未经无锡德欣光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120783881.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构
- 下一篇：焊剂生产用粉料混料器
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
