[实用新型]一种光罩静电包装机构

说明书

本实用新型公开了一种光罩静电包装机构，包括包装袋本体，包装袋本体上端口呈开口状，且包装袋本体上端口处安装胶合密封条，包装袋本体内壁喷涂防静电涂层，包装袋本体外部包覆防静电组件，本实用新型结构设计新颖，制作成本低，设置防静电涂层和防静电组件，能够有效的提高光罩的防静电效果，延长光罩的使用寿命和存储时间。

技术领域

本实用新型涉及光罩包装技术领域，具体为一种光罩静电包装机构。

背景技术

光罩(英文:Reticle, Mask):在制作IC的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。业内又称光掩模版、掩膜版，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为:曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。

光罩转运过程中需要进行包装，转运过程中产生的静电将影响光罩的性能，现有的光罩包装机构结构单一，无法有效的屏蔽静电，因此，有必要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光罩静电包装机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光罩静电包装机构, 包括包装袋本体，所述包装袋本体上端口呈开口状，且所述包装袋本体上端口处安装胶合密封条，所述包装袋本体内壁喷涂防静电涂层，所述包装袋本体外部包覆防静电组件。

优选的，本申请提供的一种光罩静电包装机构，其中，所述防静电涂层采用聚噻吩导电层，所述聚噻吩导电层层为聚噻吩材料、纳米银材料和碳纳米管材料其中的一种材料制成。

优选的，本申请提供的一种光罩静电包装机构，其中，所述防静电组件包括上金属网、上防静电膜、珍珠棉、下防静电膜、下金属网，所述上金属网的底部粘接所述上防静电膜，所述上防静电膜的底部粘接所述珍珠棉，所述珍珠棉的底部粘接所述下防静电膜，所述下防静电膜的底部粘接所述下金属网。

优选的，本申请提供的一种光罩静电包装机构，其中，还包括金属丝线，所述金属丝线贯穿所述上金属网、所述上防静电膜、所述珍珠棉、所述下防静电膜、下金属网。

优选的，本申请提供的一种光罩静电包装机构，其中，所述胶合密封条采用防静电橡胶材质制成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构设计新颖，制作成本低，设置防静电涂层和防静电组件，能够有效的提高光罩的防静电效果，延长光罩的使用寿命和存储时间；其中，采用的防静电组件中设置上防静电膜和下防静电膜能够有效的屏蔽静电，进气起到保护光罩的作用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型防静电组件结构示意图；

图中：包装袋本体1、胶合密封条2、防静电组件3、上金属网4、上防静电膜5、珍珠棉6、下防静电膜7、下金属网8、金属丝线9。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。