[实用新型]一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉

说明书

本实用新型公开了一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，包括生长炉本体和通风柱，生长炉本体的一侧设有出风管，出风管的内部开设有三号出风口，生长炉本体的一侧设有与三号出风口配合的通风柱，通风柱的内部设有调整机构，通风柱的一侧设有通风箱，通风箱的内部滑动连接有一号过滤网，出风管的一侧固定连接有两个固定板，本实用新型的有益效果是：通过加入了齿条，齿条通过齿轮带动转杆转动，转杆带动二号挡风板进行转动，实现了一号出风口和二号出风口之间的位置调节，通过加入了集尘抽箱，实现了对一号过滤网过滤的废渣进行收集，通过加入了二号过滤网和三号过滤网，实现了对废气的处理。

技术领域

本实用新型涉及高温感应加热碳化硅单晶生长炉领域，具体为一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉。

背景技术

在生产单晶硅的过程中，需要单晶生长炉，碳化多晶硅是原料，纯度不高，通过碳化硅单晶生长炉，对碳化多晶硅进行融化，生成高精度的碳化硅单晶，高纯度的单晶硅可以用于芯片制造，光伏电池，不同行业对纯度的要求也有较大差异，例如光伏产业要求4-6个9。集成电路产业的硅片要求却高达9-11个9，但在现有的高温感应加热碳化硅单晶生长炉中，不便于对高温感应加热碳化硅单晶生长炉的出风量进行调节，造成生产效率的影响，且现有的高温感应加热碳化硅单晶生长炉的废气不便于进行过滤处理。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，包括生长炉本体和通风柱，所述生长炉本体的一侧设有出风管，所述出风管的内部开设有三号出风口，所述生长炉本体的一侧设有与三号出风口配合的通风柱，所述通风柱的内部设有调整机构，所述通风柱的一侧设有通风箱，所述通风箱的内部滑动连接有一号过滤网，所述出风管的一侧固定连接有两个固定板，所述固定板的内部开设有卡槽，所述通风柱的外侧设有两个与卡槽配合的固定机构。

作为本实用新型的一种优选方案：所述调整机构包括一号挡风板和二号挡风板，所述通风柱的内部固定连接有一号挡风板，所述一号挡风板的内部开设有一号出风口，所述一号挡风板的一侧转动连接有二号挡风板，且二号挡风板与通风柱转动连接，所述二号挡风板的内部开设有与一号出风口配合的二号出风口，所述二号挡风板的内部固定连接有转杆，且转杆与一号挡风板转动连接，所述转杆的外侧固定连接有齿轮，所述通风柱的顶部设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有与齿轮配合的齿条，且齿轮与齿条啮合连接。

作为本实用新型的一种优选方案：所述固定机构包括螺杆，所述通风柱的外侧转动连接有两个螺杆，所述螺杆的外侧螺纹连接有连接板，所述连接板的内部滑动连接有限位滑杆，且限位滑杆与通风柱固定连接，所述连接板的一侧固定连接有连接块，所述连接块的底部固定连接有与卡槽配合的固定块。

作为本实用新型的一种优选方案：所述通风箱的内部固定连接有阻风板，所述阻风板的一侧与通风箱之间滑动连接有三号过滤网，所述阻风板远离三号过滤网的一侧与通风箱之间滑动连接有二号过滤网，所述三号过滤网为活性炭材料，所述二号过滤网为HEPA过滤材料，所述通风箱的一侧设有排风口，所述通风箱的内部滑动连接有与一号过滤网配合的集尘抽箱，所述通风箱的一侧设有密封门。

作为本实用新型的一种优选方案：所述三号出风口的内侧设有密封圈。

作为本实用新型的一种优选方案：所述生长炉本体的一侧设有控制面板，所述电动伸缩杆与控制面板电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的结构简单，新颖且实用性强，通过加入了齿条，齿条通过齿轮带动转杆转动，转杆带动二号挡风板进行转动，实现了一号出风口和二号出风口之间的位置调节，通过加入了集尘抽箱，实现了对一号过滤网过滤的废渣进行收集，通过加入了二号过滤网和三号过滤网，实现了对废气的处理，通过加入了固定机构，实现了通风柱安装的便捷。

附图说明