[实用新型]一种用于晶圆自动导片的暂存装置

说明书

本实用新型涉及一种用于晶圆自动导片的暂存装置，其包括竖直设置的架板、设置在架板上的夹臂组件，夹臂组件包括分别自架板向外延伸的左夹臂和右夹臂、及驱动左夹臂和右夹臂同步运动的驱动部件，当晶圆导片至左夹臂与右夹臂之间时，驱动部件驱动左夹臂和右夹臂同步运动，左夹臂与右夹臂之间形成上宽下窄的晶圆暂存区，晶圆卡设在晶圆暂存区内。本实用新型通过左夹臂和右夹臂之间同步运动，形成上宽下窄的晶圆暂存区，使得晶圆能够卡设在晶圆暂存区内，无需对晶圆本体施加夹紧力，避免了夹臂对晶圆的磨损，保证了晶圆的质量，提高晶圆的良品率。

技术领域

本实用新型属于晶圆导片设备领域，具体涉及一种用于晶圆自动导片的暂存装置。

背景技术

众所周知，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，是由硅晶棒在经过研磨、抛光、及切片后，形成的硅晶圆片，实际上，企业所生产的晶圆并非纯粹的圆形，而是会带有统一的缺口或者棱角，以便于设备对晶圆进行定位，只有这样，后序在进行CPU内核的制作和切割的时候才能更好地确定方向，其中，通过校准装置对晶圆进行校准并完成定位以后，为方便下一工序的进行，需要将完成定位的晶圆自上料箱移至特定的位置暂存，待下料箱到达指定位置后，再自暂存处导片至对应的下料箱中。

然而，在实际的晶圆导片过程中，为保证晶圆稳定，通常会对晶圆进行夹紧，夹紧必然会对晶圆表面施加力，这样容易造成晶圆表面的磨损或者破坏，使得晶圆报废。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种改进的用于晶圆自动导片的暂存装置。

为解决以上技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于晶圆自动导片的暂存装置，其包括竖直设置的架板、设置在架板上的夹臂组件，夹臂组件包括分别自架板向外延伸的左夹臂和右夹臂、及驱动左夹臂和右夹臂同步运动的驱动部件，当晶圆导片至左夹臂与右夹臂之间时，驱动部件驱动左夹臂和右夹臂同步运动，左夹臂与右夹臂之间形成上宽下窄的晶圆暂存区，晶圆卡设在晶圆暂存区内。

优选地，左夹臂和右夹臂分别自后端部穿过架板并连接在驱动部件上，晶圆竖直放置在左夹臂和右夹臂之间，驱动部件驱动左夹臂和右夹臂同步向内翻转设置。

具体的，左夹臂包括自一端与驱动部件相连接的左翻转轴、连接在左翻转轴另一端的左臂本体；右夹臂包括自一端与驱动部件相连接的右翻转轴、连接在右翻转轴另一端的右臂本体，其中左臂本体和右臂本体之间形成晶圆暂存区，左翻转轴和右翻转轴中心线与晶圆中心线相平行，驱动部件驱动左翻转轴和右翻转轴绕自身中心线同步转动。这样设置，左夹臂和右夹臂的运动行程短，效率高。

进一步的，左夹臂和右夹臂对称设置。这样设置，左夹臂和右夹臂同步夹持晶圆更为平稳，有效避免晶圆晃动或脱落。

根据本实用新型的一个具体实施和优选方面，左臂本体的内侧形成有沿其长度方向间隔分布的多个左夹槽，右臂本体的内侧形成有沿其长度方向间隔分布的多个右夹槽，其中左夹槽与右夹槽一一对应设置，暂存时，每片晶圆夹持在每个左夹槽和对应的右夹槽之间。这样设置，分散晶圆侧边的受力，放置左夹臂和右夹臂对晶圆侧边造成磨损或破坏，起到保护晶圆侧边的作用。

具体的，左夹槽的槽底自上而下并向内倾斜设置，且左夹槽上部的开口向两侧敞开；右夹槽的槽底自上而下并向内倾斜设置，且右夹槽上部的开口向两侧敞开。这样设置，左夹臂和右夹臂转动时，更容易形成上宽下窄的晶圆暂存区，使得晶圆能够卡设在左夹臂和右夹臂之间。

优选地，驱动部件包括第一传动杆、第二传动杆、及驱动第一传动杆和第二传动杆同步运动的驱动器，其中第一传动杆对应连接在左夹臂上，第二传动杆对应连接在右夹臂上。这样设置，传动稳定，保证左夹臂和右夹臂同步运动并夹紧晶圆。

具体的，驱动器包括滑座、及驱动滑座上下运动的动力件，其中第一传动杆和第二传动杆分别与滑座相连接，当滑座上下运动时，第一传动杆和第二传动杆分别带动左夹臂和右夹臂运动。