[实用新型]基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置

说明书

本实用新型涉及出料装置，具体是一种基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，包括手动液压堆高车，所述手动液压堆高车包括L型门架，所述L型门架包括布置在地面上的水平底架、与水平底架垂直布置的竖直架，所述竖直架上布置有可升降的货叉，其技术要点是：所述货叉上布置有升降工作单元，所述升降工作单元包括布置在货叉上方的下炉盖托架、与下炉盖托架可拆卸连接的下炉盖，所述下炉盖的上表面上固定有热场支座，所述热场支座上固定有热场。其结构简单，解决了因晶体生长设备上开盖而影响碳化硅晶体质量的问题，装炉、取晶操作都十分便捷。

技术领域

本实用新型涉及出料装置，具体是一种基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置。

背景技术

半导体产业发展至今经历了三个阶段，以碳化硅为代表的第三代半导体材料，相较前两代产品，具有高击穿电场、高饱和电子速度、高热导率、高电子密度、高迁移率等特点，受到了业内的广泛好评，而且在电子、印刷、通讯、探测、环保等领域都具有巨大的应用潜力。

近年来，碳化硅衬底的直径做得越来越大，随之而来的晶体生长问题也愈发明显：

1.现有的碳化硅晶体生长设备通常采用上开盖的方式，所以只能采用下进气、上出气的气体布置方案，使气体流动方向与热场热量扰动方向、晶体生长方向一致，导致了晶体在生长过程中生长速度不可控，晶体应力较大，进而影响了碳化硅晶体产品的质量。

2.同时大尺寸碳化硅晶体的热场和坩埚等部件过大、重量过重，装炉、取晶等步骤操作都极其复杂困难。

而手动液压堆高车作为一种无污染，无动力的装卸产品，可以通过按压手柄或踏板，使手动液压堆高车的货叉轻松地做升降运动。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，其结构简单，解决了因晶体生长设备上开盖而影响碳化硅晶体质量的问题，装炉、取晶操作都十分便捷。

本实用新型的技术方案是：

基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，包括手动液压堆高车，所述手动液压堆高车包括L型门架，所述L型门架包括布置在地面上的水平底架、与水平底架垂直布置的竖直架，所述竖直架上布置有可升降的货叉，其技术要点是：所述货叉上布置有升降工作单元，所述升降工作单元包括布置在货叉上方的下炉盖托架、与下炉盖托架可拆卸连接的下炉盖，所述下炉盖的上表面上固定有热场支座，所述热场支座上固定有热场。

上述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，所述水平底架上布置有导向板。

上述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，所述下炉盖托架包括与货叉栓接的托架下板、均匀对称固定在托架下板上表面上的四个弹簧座、底端分别固定在四个弹簧座上高度相等的压缩弹簧，四个压缩弹簧的顶端支撑布置有水平托架上板，水平托架上板上均匀对称开设有四个安装孔。

上述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，所述托架下板的上表面上还对称布置有四个直线轴承，直线轴承内部布置有与直线轴承配合的圆柱导向轴，圆柱导向轴的顶端与水平托架上板固定连接，圆柱导向轴的底端穿出托架下板。

上述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，所述下炉盖的下表面固定有与安装孔配合的定位锥杆。

上述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，所述热场、热场支座、下炉盖、下炉盖托架的轴线均在同一竖直方向上。

本实用新型的有益效果是：

1.通过在手动液压堆高车的货叉上通过螺栓固定下炉盖托架，将碳化硅晶体炉的下炉盖可拆卸地布置在下炉盖托架上，碳化硅晶体炉可以采用上进气的气体布置方案，使炉内气体流动方向与碳化硅晶体生长方向、热场内热量扰动方向相反，保证了晶体在生长过程中的条件需求。