[实用新型]一种安全性能较好的真空镀膜设备

说明书

本实用新型属于真空镀膜技术领域，本实用新型公开了一种安全性能较好的真空镀膜设备，包括壳体，壳体设置有支撑脚，壳体铰接有柜门，壳体安装有插板，壳体安装有真空机和控制箱，壳体安装有出料结构和送料结构，出料结构和送料结构之间连接有主齿轮，壳体安装有出料滑轨，出料滑轨安装有出料板，出料板设置有滑槽、安装槽、齿条和限位块，限位块安装有距离感应器，主齿轮连接有旋转轴，旋转轴连接有电机，壳体底部放置有加热槽，加热槽内放置有坩埚，加热槽内分布有加热棒。本实用新型采用齿轮带动出料板和进料板，不用人工伸进壳体内部取件，造成高温灼伤，采用往复电机结合齿轮可以实现Z型放件、取件，十分高效，节约能源。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种安全性能较好的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，但是在加热蒸发过程中，温度很高，人工手工伸进壳体内部取件，太过危险，容易造成事故，打开柜门取件，室内热量又会散失的很快，浪费能源，本实用新型设计了一种安全性能较好的真空镀膜设备很好的解决了上述问题。

实用新型内容

针对上述背景技术所提出的问题，本实用新型的目的是：旨在提供一种安全性能较好的真空镀膜设备。

为实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案如下：一种安全性能较好的真空镀膜设备，包括壳体和镀膜件，所述壳体设置有支撑脚，所述壳体铰接有柜门，所述壳体顶部安装有插板，所述壳体侧面安装有真空机和控制箱，所述壳体内部安装有出料结构和送料结构，所述出料结构和送料结构上下对称，所述出料结构和送料结构之间连接有主齿轮，所述壳体内部安装有出料滑轨，所述出料滑轨安装有出料板，所述出料板设置有滑槽、安装槽、齿条和限位块，所述限位块安装有距离感应器，所述送料结构包括送料板和送料滑轨，所述主齿轮连接有旋转轴，所述旋转轴连接有电机，所述壳体底部放置有加热槽，所述加热槽内放置有坩埚，所述加热槽内分布有加热棒。

进一步限定，所述柜门设置有保温棉，这样的设计，封闭性更好，防止室内温度外散，节约能源。

进一步限定，所述壳体设有与插板匹配的滑动槽，这样的设计，封闭性更好，同时节约空间。

进一步限定，所述出料滑轨设置有与限位块对应的限位墩，这样的设计，可以限定送料板与出料板的位置。

进一步限定，所述电机可以正反转，这样的设计，可以实现送料板与出料板往复送料、出料。

采用本实用新型的有益效果：

1、本实用新型采用齿轮带动出料板和进料板，可以自动推出和推进，不用人工伸进壳体内部取件，造成高温灼伤。

2、本实用新型采用往复电机结合齿轮可以实现Z型放件、取件，十分高效。

3、本实用新型采用壳体开小孔尽可能保证室内的温度不被大量散失。

附图说明

本实用新型可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；

图1为本实用新型一种安全性能较好的真空镀膜设备实施例的第一轴测图；

图2为本实用新型一种安全性能较好的真空镀膜设备实施例的第二轴测图；

图3为本实用新型一种安全性能较好的真空镀膜设备实施例的第三轴测图；

图4为本实用新型一种安全性能较好的真空镀膜设备实施例的第四轴测图；

图5为本实用新型一种安全性能较好的真空镀膜设备实施例的第五轴测图；

图6为本实用新型一种安全性能较好的真空镀膜设备实施例的剖面图；