[实用新型]一种多角度照明的芯片引脚缺陷检测装置

说明书

本实用新型涉及一种多角度照明的芯片引脚缺陷检测装置，包括：支架、传送带、CCD相机、照明灯和转动驱动组件，所述传送带设置于所述支架上，所述CCD相机通过一支臂设置于所述支架上且位于传送带上方，所述转动驱动组件设置于所述支架一侧且用于驱动所述照明灯翻转。本实用新型提供的多角度照明的芯片引脚缺陷检测装置，采用灯带进行照明，并配合转动驱动组件，使得灯带照明角度得以变化，从而实现了CCD相机在拍照时，照明灯多角度照明，避免自身背光和承载盘遮挡，使得芯片引脚拍摄更加清晰、精准，以提高芯片引脚缺陷判断的准确性。

技术领域

本实用新型涉及产品表面缺陷检测设备领域，尤其涉及一种多角度照明的芯片引脚缺陷检测装置。

背景技术

存储芯片作为半导体元器件中不可或缺的组成部分，存储芯片的国产化是未来国家战略的一部分。但在其制造或者应用过程中经常会产生各种各样的缺陷，从而导致设备出现问题。

半导体芯片引脚的缺陷直接影响芯片的性能和寿命。在引脚缺陷检测上，采用机器视觉的方式代替人工肉眼识别，这提高了工业生产线上的生产能力，对于芯片质量的提高和芯片产业的发展有着十分重要的意义。工业生产线上复杂的光照环境以及芯片在载物盘上姿态的不确定性，芯片图像的获取和引脚的定位、检测面临着巨大挑战。

实用新型内容

本实用新型为解决现有设备无法克服生产环境下的复杂光照且载物盘姿态不确定的问题，所采用的技术方案是：一种多角度照明的芯片引脚缺陷检测装置，包括：支架、传送带、CCD相机、照明灯和转动驱动组件，所述传送带设置于所述支架上，所述CCD相机通过一支臂设置于所述支架上且位于传送带上方，所述转动驱动组件设置于所述支架一侧且用于驱动所述照明灯翻转。

进一步改进为，所述照明灯包括连杆、背板和灯带，至少一个所述灯带设置于所述背板上，所述背板两端设置所述连杆，所述连杆连接所述转动驱动组件。

进一步改进为，所述转动驱动组件包括：电机和驱动杆，所述电机设置于所述支架上，所述电机连接所述驱动杆，所述连杆的两端连接所述驱动杆。

进一步改进为，所述电机为步进电机。

进一步改进为，所述传送带两侧设有挡板。

进一步改进为，所述支臂包括三节，且相邻两节所述支臂之间通过转轴连接用以调整所述CCD相机在水平及竖直方向上的位置。

进一步改进为，所述CCD相机下方的所述传送带一端设有姿态校正组件，所述姿态校正组件包括设置于所述传送带两侧的推板和所述传送带运行方向上的碰撞板，两个所述推板在驱动设备的驱动下对向或背向移动，所述碰撞板在驱动设备的驱动下呈水平或竖直状态，且所述碰撞板上设有碰撞传感器。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型提供的多角度照明的芯片引脚缺陷检测装置，采用灯带进行照明，并配合转动驱动组件，使得灯带照明角度得以变化，从而实现了CCD相机在拍照时，照明灯多角度照明，避免自身背光和承载盘遮挡，使得芯片引脚拍摄更加清晰、精准，以提高芯片引脚缺陷判断的准确性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的多角度照明的芯片引脚缺陷检测装置结构示意图。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。