[实用新型]一种防边缘渗水的抛光用吸附垫

说明书

本实用新型公开了一种防边缘渗水的抛光用吸附垫，包括抛光工件、吸附垫和防渗水机构，所述吸附垫吸附在抛光工件的表面，防渗水机构设于吸附垫的边缘处，防渗水机构由底板、侧板、防渗凹板、防渗活动板和T型固定板组成，底板设于吸附垫的底部边缘处，并且底板的一端延伸出吸附垫的外侧，侧板设于底板的一端，并且侧板的一端延伸至抛光工件的外侧。本防边缘渗水的抛光用吸附垫，通过将防渗水机构夹装在吸附垫吸附与抛光工件的外边缘处，并通过设置的第一防渗胶垫与第二防渗胶垫及干燥剂来实现防止水的渗入，从而保障吸附垫的吸附效果，为研磨制程提供优异的平面基础。

技术领域

本实用新型抛光用吸附垫技术领域，具体为一种防边缘渗水的抛光用吸附垫。

背景技术

抛光用吸附垫具有独特的孔隙结构，可吸附在被抛光的工件上，性能就如真空状态吸附住被抛光的物体一般；但正因如此，吸附垫在吸附抛光工件后，需要防止其边缘处出现渗水的情况，由于水的渗入会堵住吸附垫上的孔隙，从而使其失去真空吸力，导致吸附垫无法吸附在抛光工件上，进而影响到工件的研磨，无法为研磨制程提供优异的平面基础。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防边缘渗水的抛光用吸附垫，通过将防渗水机构夹装在吸附垫吸附与抛光工件的外边缘处，并通过设置的第一防渗胶垫与第二防渗胶垫及干燥剂来实现防止水的渗入，从而保障吸附垫的吸附效果，为研磨制程提供优异的平面基础，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种防边缘渗水的抛光用吸附垫，包括抛光工件、吸附垫和防渗水机构，所述吸附垫吸附在抛光工件的表面，防渗水机构设于吸附垫的边缘处，防渗水机构由底板、侧板、防渗凹板、防渗活动板和T型固定板组成，底板设于吸附垫的底部边缘处，并且底板的一端延伸出吸附垫的外侧，侧板设于底板的一端，并且侧板的一端延伸至抛光工件的外侧，侧板的内侧壁上还开设滑槽，防渗凹板设于底板的另一端，防渗活动板设于侧板上，防渗活动板的一端设有滑块，滑块嵌入滑槽内，防渗活动板的另一端压覆在抛光工件的底壁边缘上，T型固定板设于侧板上，T型固定板的竖板端嵌入滑槽内，并压覆在滑块上，T型固定板的横板端与侧板的板端通过卡件固定。

优选的，所述防渗凹板上设有第一防渗胶垫，第一防渗胶垫由底胶垫、凸胶垫和侧胶垫组成，底胶垫盖于防渗凹板上，并且底胶垫的表面与吸附垫的底面紧密贴合，凸胶垫设于底胶垫的中部，凸胶垫嵌入防渗凹板的凹口内，侧胶垫设于底胶垫的两端，侧胶垫紧密贴覆在形防渗凹板的侧壁上；

优选的，所述防渗活动板上设有第二防渗胶垫，第二防渗胶垫由胶套和耳胶垫组成，胶套套装于防渗活动板的另一端，耳胶垫设于胶套的底部，耳胶垫的表面紧密贴覆在抛光工件的底壁上。

优选的，所述底板与侧板的连接处设有L型板，L型板上的槽口内嵌入有干燥剂。

优选的，所述卡件由卡块和卡槽组成，卡块设于T型固定板的横板端，卡槽设于侧板的板端，卡块与卡槽一一对应，卡块嵌入卡槽内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本防边缘渗水的抛光用吸附垫，当吸附垫吸附在抛光工件表面后，将防渗水机构中的底板设于吸附垫的底部边缘处，并使防渗凹板上安装的第一防渗胶垫紧密贴合吸附垫的底面，从而防止水由吸附垫的边缘处渗入；

将防渗活动板通过滑块滑动安装于侧板上，并使其一端压覆在抛光工件上，然后通过安装T型固定板将防渗活动板固定，从而实现防渗水机构夹装在吸附垫吸附与抛光工件的外边缘处；而当防渗活动板的一端压覆在抛光工件时，第二防渗胶垫会紧密贴覆在抛光工件的底壁上，从而防止水由抛光工件的边缘处渗入；因此，通过设置的防渗水机构可有效防止水从吸附垫的边缘渗入，从而保障吸附垫的吸附效果，为研磨制程提供优异的平面基础。

附图说明

图1为本实用新型的防渗水机构装配图；

图2为本实用新型的防渗胶垫结构装配图；