[实用新型]载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台有效

专利信息
申请号: 202120736752.X 申请日: 2021-04-12
公开(公告)号: CN214848484U 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 陈永;刘胜新;吴书菲;郭红彦;蔡玉乐;王瑞娟;陈志民;王靖博;连明洋;李书珍;王朋旭;吴奇隆 申请(专利权)人: 郑州大学
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173 代理人: 李琼
地址: 450000 河南省郑*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 载样网取放 便捷 不会 脱落 扫描电镜 样品
【权利要求书】:

1.载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台,包括圆台(1)和压盖(2),其特征在于:

所述的圆台(1)呈圆柱形,包括载样网放置孔(1-1)、工具水平进出槽(1-2)、工具竖直进出槽(1-3)、定位凹槽(1-4)和磁性圆棒Ⅰ(1-5),所述的载样网放置孔(1-1)呈圆孔形在圆台(1)上部沿圆周均匀分布,载样网放置孔(1-1)靠近圆台(1)边缘的位置设有工具水平进出槽(1-2),所述工具水平进出槽(1-2)是一种矩形凹槽,工具水平进出槽(1-2)的中心线指向载样网放置孔(1-1)的圆心,工具水平进出槽(1-2)的一端在圆台(1)边沿,另一端在载样网放置孔(1-1)内,工具水平进出槽(1-2)的深度大于载样网放置孔(1-1)的深度,所述的工具竖直进出槽(1-3)设在载样网放置孔(1-1)的圆周外部,每个载样网放置孔(1-1)上设有两个工具竖直进出槽(1-3)且关于载样网放置孔(1-1)的圆心对称分布,工具竖直进出槽(1-3)中心线的连线与工具水平进出槽(1-2)的中心线垂直,工具竖直进出槽(1-3)的深度与载样网放置孔(1-1)的深度相同,所述圆台(1)的中心设有定位凹槽(1-4),所述定位凹槽(1-4)的截面呈一端为圆弧状的类矩形,在定位凹槽(1-4)的中心下部嵌有磁性圆棒Ⅰ(1-5),所述的磁性圆棒Ⅰ(1-5)的上端面与定位凹槽(1-4)的底面水平高度相同,磁性圆棒Ⅰ(1-5)与圆台(1)的主体通过过盈配合连接在一起;

所述的压盖(2)包括盖板(2-1)、定位凸台(2-2)、磁性圆棒Ⅱ(2-3)和观察孔(2-4),所述的盖板(2-1)位于压盖(2)的上部,所述的定位凸台(2-2)位于压盖(2)的下部,盖板(2-1)与定位凸台(2-2)一体成形,所述的盖板(2-1)呈圆片状,圆片直径与圆台(1)的直径相同,圆片上沿圆周均匀分布有观察孔(2-4),所述的定位凸台(2-2)形状与圆台(1)的定位凹槽(1-4)相同,所述的磁性圆棒Ⅱ(2-3)竖直嵌入定位凸台(2-2)中心的内部,磁性圆棒Ⅱ(2-3)的下端面与定位凸台(2-2)的下端面齐平,磁性圆棒Ⅱ(2-3)与定位凸台(2-2)通过过盈配合连接在一起;

所述的定位凸台(2-2)与定位凹槽(1-4)通过插入式配合,将圆台(1)与压盖(2)连接在一起,所述的载样网放置孔(1-1)的圆心与观察孔(2-4)的圆心一一对应。

2.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台,其特征在于:所述的载样网放置孔(1-1)的直径为3.4mm-3.6mm,深度为0.1mm-0.2mm。

3.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台,其特征在于:所述的观察孔(2-4)的直径比载样网放置孔(1-1)的直径小1.2mm。

4.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台,其特征在于:所述的定位凸台(2-2)与定位凹槽(1-4)之间的连接是间隙配合,配合间隙不大于0.2mm。

5.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台,其特征在于:所述的磁性圆棒Ⅰ(1-5)的直径与磁性圆棒Ⅱ(2-3)的直径相同。

6.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台,其特征在于:所述的工具水平进出槽(1-2)处于载样网放置孔(1-1)内的长度为1.25mm-1.4mm。

7.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台,其特征在于:所述的工具水平进出槽(1-2)的深度为2.1mm-2.3mm。

8.根据权利要求1所述的载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台,其特征在于:所述的载样网放置孔(1-1)两端的工具竖直进出槽(1-3)顶端端面之间的距离为6.2mm。

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