[实用新型]一种高精度真空仪表前置保护器

说明书

本实用新型涉及一种高精度真空仪表前置保护器，所属保护仪表传感器结构技术领域，包括真空管道，所述的真空管道上设有与真空管道相连通的真空计，所述的真空计侧边设有与真空管道相连通的真空表，所述的真空表与真空管道间、真空计与真空管道间均设有前置保护器。所述的前置保护器包括壳体，所述的壳体内设有活性炭，所述的壳体上下端均设有KF接口，所述的KF接口与壳体间均设有封盖。具有结构简单、运行稳定性好和使用寿命长的特点。解决了传感部分容易被污染和堵塞的问题。避免传感功能的失效及报废。

技术领域

本实用新型涉及保护仪表传感器结构技术领域，具体涉及一种高精度真空仪表前置保护器。

背景技术

在离子源腔体中的残留物会产生具有腐蚀作用的附着物，在注入过程中这些有害物质被泵抽取到除害桶中处理，但是在离子源腔体回归到大气状态时，一部分的附属物会随之散发到真空计中，对真空计造成腐蚀，从而缩短了真空计的使用寿命。无法保护仪表传感器内部元件及接口免受杂物污染、堵塞，造成精度降低以致失效、报废。

真空计和真空表直接与真空管道相连，浇注材料是由树脂及固化剂、硅粉、增韧剂、促进剂等组成，在80多度温度下形成高真空过程中易挥发，随真空泵抽气产生的气流充满整个管道，真空计和真空表的传感部分及入口很容易被这些混合粘液污染和堵塞，一般用3个月之后就面临失效报废。

发明内容

本实用新型主要解决现有技术中存在运行稳定性差和使用寿命短的不足，提供了一种高精度真空仪表前置保护器，其具有结构简单、运行稳定性好和使用寿命长的特点。解决了传感部分容易被污染和堵塞的问题。避免传感功能的失效及报废。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种高精度真空仪表前置保护器，包括真空管道，所述的真空管道上设有与真空管道相连通的真空计，所述的真空计侧边设有与真空管道相连通的真空表，所述的真空表与真空管道间、真空计与真空管道间均设有前置保护器。所述的前置保护器包括壳体，所述的壳体内设有活性炭，所述的壳体上下端均设有KF接口，所述的KF接口与壳体间均设有封盖。

作为优选，所述的壳体下端设有与KF接口相套接的安装法兰盘，所述的安装法兰盘上设有若干与封盖相螺纹式套接的螺栓。

作为优选，所述的安装法兰盘与壳体间设有与壳体相卡嵌式套接的O型密封圈。

作为优选，所述的活性炭上下端与封盖间均设有钢丝网盘。

作为优选，所述的钢丝网盘材质为120目的304不锈钢。

本实用新型能够达到如下效果：

本实用新型提供了一种高精度真空仪表前置保护器，与现有技术相比较，具有结构简单、运行稳定性好和使用寿命长的特点。解决了传感部分容易被污染和堵塞的问题。避免传感功能的失效及报废。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型中的前置保护器的结构示意图。

图中：真空管道1，前置保护器2，真空计3，真空表4，壳体5，封盖6，KF接口7，活性炭8，钢丝网盘9，O型密封圈10，螺栓11，安装法兰盘12。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。