[实用新型]一种透镜三维移动装置

说明书

本实用新型涉及超高真空光学位移设备技术领域，具体而言，涉及一种透镜三维移动装置，包括：透镜托、第三移动机构、第一连接件、第二移动机构、第二连接件和第一移动机构，所述第三移动机构竖直设置在所述第一连接件的下水平段的上表面，所述第二移动机构设置在所述第一连接件的上水平段的下表面，本实用新型通过将水平移动机构设置在所述第一连接件的上水平段的下表面，同时使第三移动机构竖直设置在所述第一连接件的下水平段的上表面，进而减小所述第一移动机构、第二移动机构和第三移动机构的安装结构，进而有效减小所述透镜三维移动装置的整体结构。

技术领域

本实用新型涉及超高真空光学位移设备技术领域，具体而言，涉及一种透镜三维移动装置。

背景技术

样品分析是凝聚态物理学的基础，在超高真空腔体中对样品进行表征可以排除外界因素的干扰，获得样品的本征信息，而利用光谱、激发-泵浦等手段获取样品信息对光的聚焦要求较高，因此需要可三维移动的超高真空兼容的位移台，现有的位移台尺寸较大无法满足需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种透镜三维移动装置，以改善上述问题。为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

本申请提供了一种透镜三维移动装置，包括：透镜托、第三移动机构、第一连接件、第二移动机构、第二连接件和第一移动机构，所述透镜托设置在所述第三移动机构上，且所述第三移动机构用于带动所述透镜托上移或下移；所述第一连接件的一端与所述第三移动机构连接，另一端与第二移动机构连接；所述第二移动机构用于带动所述第三移动机构水平横向移动；所述第二连接件的上表面与所述第二移动机构连接，所述第二连接件的下表面与第一移动机构连接；所述第一移动机构用于带动所述第二移动机构水平纵向移动，且所述第一移动机构、第二移动机构和第三移动机构的结构均相同；其中，所述第一连接件的结构为Z字形，所述第三移动机构竖直设置在所述第一连接件的下水平段的上表面，所述第二移动机构设置在所述第一连接件的上水平段的下表面。

优选地，所述第一移动机构包括第一滑槽和第一滑芯，所述第一滑槽（62）上设置有用于驱动所述第一滑芯（61）的压电陶瓷堆垛，且所述第一滑芯可沿所述第一滑槽滑动。

优选地，所述第一滑芯远离所述第一滑槽的一面上设置有第一螺纹孔，所述第二连接件上设置有第一通孔，所述第一螺纹孔通过螺栓与所述第一通孔连接。

优选地，所述第二移动机构包括第二滑槽和第二滑芯，所述第二滑槽的底部设置有第二通孔，所述第二连接件上设置有第二螺纹孔，所述第二通孔通过螺栓与所述第二螺纹孔连接，所述第二滑芯的上表面与所述上水平段的下表面通过螺栓连接。

优选地，所述第三移动机构包括第三滑槽和第三滑芯，所述第三滑槽靠近所述下水平段的一端设置有第三螺纹孔，所述下水平段上设置有第三通孔，所述第三通孔与所述第三螺纹孔通过螺栓连接，所述第三滑槽垂直于水平面。

优选地，所述第三滑芯远离所述下水平段的一端设置有第一安装孔，所述透镜托包括透镜固定槽和托把，所述托把远离所述透镜固定槽的一端设置有安装通孔，所述第一安装孔通过螺栓与所述安装通孔连接。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过将有第二移动机构和第一移动机构所组成的水平移动机构设置在所述第一连接件的上水平段的下表面进而使所述第一移动机构的底部靠近所述第一连接件的下水平段，同时使第三移动机构竖直设置在所述第一连接件的下水平段的上表面，使所述第三移动机构的顶部靠近所述一连接件的上水平段，进而减小使所述第一移动机构、第二移动机构和第三移动机构机构的安装结构，进而有效减小所述透镜三维移动装置的整体结构，使所述透镜三维移动装置的整体结构更加紧凑。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型实施例了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明