[实用新型]一种电子探针光片样品台

权利要求书

1.一种电子探针光片样品台，其特征在于：包括滑轨座(1)、设置在滑轨座(1)上的底座(3)和设置在底座(3)上且与滑轨座(1)顶部平行的样品台(5)，所述滑轨座(1)上设置有对样品台(5)支撑的支撑块(2)；

所述样品台(5)的底部设置有与底座(3)配合的连接部件(6)，所述连接部件(6)包括设置在样品台(5)的底部且伸入底座(3)内的套筒(6-3)和穿设在套筒(6-3)中的连接轴(4)，所述连接轴(4)伸出套筒(6-3)的两端穿过所述底座(3)，所述底座(3)的顶部和套筒(6-3)的顶部相齐平，所述样品台(5)能绕连接轴(4)旋转，所述套筒(6-3)上设置有两个对称布设的限位块，所述底座(3)中设置有与所述限位块配合的限位槽(3-3)，所述连接轴(4)能带动套筒(6-3)靠近或者远离限位槽(3-3)；

所述样品台(5)上设置有四个容纳光片的安装区，每个安装区均设置有锁紧件。

2.按照权利要求1所述的一种电子探针光片样品台，其特征在于：所述底座(3)包括矩形座体(3-1)和两个对称设置在矩形座体(3-1)上的座体耳(3-2)，两个座体耳(3-2)和矩形座体(3-1)围成供套筒(6-3)安装的容纳腔(3-6)，所述矩形座体(3-1)和两个座体耳(3-2)围成U形结构，所述限位槽(3-3)位于矩形座体(3-1)内，所述限位槽(3-3)的长度小于两个座体耳(3-2)之间的间距，所述连接轴(4)伸出套筒(6-3)的两端均穿过座体耳(3-2)；

所述样品台(5)上设置有第一开口部(5-1)和第二开口部(5-2)。

3.按照权利要求2所述的一种电子探针光片样品台，其特征在于：两个所述座体耳(3-2)分别为左座体耳和右座体耳，所述左座体耳内设置有左腰形通孔(3-4)，所述右座体耳内设置有右腰形通孔(3-5)，所述连接轴(4)穿过套筒(6-3)的两端分别穿过左腰形通孔(3-4)和右腰形通孔(3-5)，且所述连接轴(4)能沿左腰形通孔(3-4)和右腰形通孔(3-5)滑移，以使连接轴(4)带动套筒(6-3)靠近或者远离限位槽(3-3)移动。

4.按照权利要求2所述的一种电子探针光片样品台，其特征在于：所述样品台(5)的底部设置有左连接耳(6-1)与右连接耳(6-2)，所述套筒(6-3)设置在左连接耳(6-1)与右连接耳(6-2)之间，所述左连接耳(6-1)和右连接耳(6-2)均位于容纳腔(3-6)内，所述左连接耳(6-1)的外侧壁和一个座体耳(3-2)的内侧壁相贴合，所述右连接耳(6-2)的外侧壁和另一个座体耳(3-2)的内侧壁相贴合；

所述连接轴(4)伸出套筒(6-3)的一端依次穿过所述左连接耳(6-1)和底座(3)中的左腰形通孔(3-4)，所述连接轴(4)伸出套筒(6-3)的另一端依次穿过所述右连接耳(6-2)和底座(3)中的右腰形通孔(3-5)。

5.按照权利要求1所述的一种电子探针光片样品台，其特征在于：两个所述限位块分别为第一限位块(6-4)和第二限位块(6-5)，第一限位块(6-4)和第二限位块(6-5)之间的夹角为180°，第一限位块(6-4)和第二限位块(6-5)的长度小于套筒(6-3)的长度，所述第一限位块(6-4)或者第二限位块(6-5)均能嵌入限位槽(3-3)中，所述限位槽(3-3)的槽深和第一限位块(6-4)与第二限位块(6-5)的宽度相适应。

6.按照权利要求1所述的一种电子探针光片样品台，其特征在于：所述样品台(5)为矩形台面，四个所述安装区的结构均相同，每个所述安装区均包括供光片伸入的方形通孔(7)和与所述方形通孔(7)连通的圆形通孔(8)，所述圆形通孔(8)的横截面积小于方形通孔(7)的横截面积，且所述方形通孔(7)沿高度方向的中心线和圆形通孔(8)的中心线重合；

所述方形通孔(7)和圆形通孔(8)的连接处形成对光片顶部进行限位的凸沿(9)。

7.按照权利要求1所述的一种电子探针光片样品台，其特征在于：所述锁紧件包括穿过样品台(5)且能伸入方形通孔(7)内的第一锁紧螺栓(10-1)和第二锁紧螺栓(10-2)，所述第一锁紧螺栓(10-1)和第二锁紧螺栓(10-2)呈垂直布设；

所述第一锁紧螺栓(10-1)和第二锁紧螺栓(10-2)靠近方形通孔(7)顶部布设。