[实用新型]一种芯片加工用具有翻转烘干功能的烘干设备有效
申请号: | 202120682885.3 | 申请日: | 2021-04-03 |
公开(公告)号: | CN214537209U | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 徐州盛科半导体科技有限公司 |
主分类号: | F26B11/16 | 分类号: | F26B11/16;F26B21/00;F26B25/00;F26B25/04 |
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地址: | 221400 江苏省徐州市新沂*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 工用 具有 翻转 烘干 功能 设备 | ||
1.一种芯片加工用具有翻转烘干功能的烘干设备,包括烘干箱(1)、物料台(2)和外箱(5),其特征在于:所述烘干箱(1)的一侧设置有转动机构(4),所述烘干箱(1)的内部设置有物料台(2);
所述物料台(2)的表面设置有夹持结构(3),所述夹持结构(3)包括底板(301)、支架(302)、弹簧伸缩杆(303)以及夹块(304),所述底板(301)固定于物料台(2)的表面,所述底板(301)顶端的两侧均固定有支架(302);
所述烘干箱(1)顶端的一侧设置有净化机构(8),所述烘干箱(1)顶端的中心位置处固定有外箱(5),所述外箱(5)的内部固定有风机(6),所述风机(6)的下方固定有电热丝(7)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片加工用具有翻转烘干功能的烘干设备,其特征在于:所述支架(302)的一侧固定有弹簧伸缩杆(303),所述弹簧伸缩杆(303)的一侧固定有夹块(304)。
3.根据权利要求1所述的一种芯片加工用具有翻转烘干功能的烘干设备,其特征在于:所述底板(301)在物料台(2)的表面固定有若干个,若干个所述底板(301)呈环形分布。
4.根据权利要求1所述的一种芯片加工用具有翻转烘干功能的烘干设备,其特征在于:所述弹簧伸缩杆(303)在支架(302)的一侧固定有三组,三组所述支架(302)呈等间距分布。
5.根据权利要求1所述的一种芯片加工用具有翻转烘干功能的烘干设备,其特征在于:所述夹块(304)呈“C”形设计,所述夹块(304)在底板(301)的上方呈对称分布。
6.根据权利要求1所述的一种芯片加工用具有翻转烘干功能的烘干设备,其特征在于:所述转动机构(4)包括伺服电机(401)、连接法兰(402)以及转动轴(403),所述伺服电机(401)固定于烘干箱(1)的一侧,所述伺服电机(401)一侧延伸至烘干箱(1)的内部,所述伺服电机(401)的一侧固定有连接法兰(402),所述连接法兰(402)的一侧固定有转动轴(403),所述转动轴(403)一侧与烘干箱(1)的内侧壁呈活动连接。
7.根据权利要求1所述的一种芯片加工用具有翻转烘干功能的烘干设备,其特征在于:所述净化机构(8)包括净化箱(801)、抽气管(802)、抽气机(803)、活性炭滤芯(804)以及出气管(805),所述净化箱(801)固定于烘干箱(1)一侧的顶端,所述净化箱(801)内部的一侧设置有活性炭滤芯(804),所述活性炭滤芯(804)一侧固定有出气管(805),且出气管(805)一侧延伸至净化箱(801)的外部,所述活性炭滤芯(804)的另一侧固定有抽气机(803),所述抽气机(803)的一侧固定有抽气管(802),所述抽气管(802)一侧延伸至烘干箱(1)的内部。
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